Gebraucht TOKYO OKA / TOK TCA 7822S #9239620 zu verkaufen

TOKYO OKA/TOK TCA 7822S ist ein von Tokyo Okamoto Co., Ltd. entwickelter Ätzer/Ascher. Die 7822 sind eine niedrige Temperatur, hohe Präzision, einseitig bespannter in der Produktion von Halbleitergeräten verwendeter etcher/asher. Dieser Ätzer/Ascher dient zum Reinigen, Abisolieren und Ätzen von Oberflächen von Wafern und Masken. TOK TCA 7822S ist ein drehtemperaturgeregelter Vierkammer-Ätzer/Ascher. Es arbeitet mit einer breiten Palette von Materialien wie Oxidfolien, Polymeren, Siliziumnitrid-Folien, Glas und Metallen. Der Ätzer/Ascher nutzt Technologie, die eine präzise Temperaturregelung bis zu 400˚C ermöglicht und den Einsatz niedriger Drücke bis zu 1 bar unterstützt. Die Vorderseite des 7822S verfügt über eine Waferkassettenladeeinrichtung und ein programmierbares Shuttle-System zum Be- und Entladen von Kassetten-Wafern. Der Ätzer/Ascher ist mit vier unabhängigen Gasströmungskammern ausgeführt. Sie sind: die Obere beheizte Kammer (UHC), die Untere beheizte Kammer (LHC), die AnnULAR beheizte Kammer (AHC) und die unbeheizte Kammer (UHC). Das 7822S verwendet eine fortschrittliche Heiztechnologie, um die Temperatur für jede Kammer automatisch anzupassen. Die Temperatureinstellungen in den jeweiligen Kammern können durch Eingabe bestimmter Grade für jede Kammer eingestellt werden. TOKYO OKA TCA 7822S enthält auch eine Touch-Panel-Frontplatte für einfache Bedienung mit einer grafischen Benutzeroberfläche. Das 7822S kann mit einer Vielzahl von Formeln für Ätzraten, Ätztiefen und Ätzgeschwindigkeiten programmiert werden, wodurch es perfekt für die Erfüllung der Ätzbedürfnisse aller Branchen geeignet ist. Der Ätzer/Ascher ist mit einem 64-Bit-Hochgeschwindigkeitsprozessor und mehreren Schnittstellen ausgestattet, die einen schnellen und genauen Datenaustausch ermöglichen. Die 7822S umfasst auch eine Vakuum-Rotationssputtereinheit (VRS) zur Abscheidung von hochleitenden Folien wie Aluminiumoxid oder anderen isolierenden Materialien. Die 7822S ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien zu ätzen, darunter Metalle, Polymere und Siliziumnitrid. TCA 7822S ist der perfekte Ätzer/Ascher für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Mit seinen präzisen Temperaturregelungen, der programmierbaren Shuttle-Maschine, dem integrierten Touchpanel und den verschiedensten Formeln erfüllt dieser Ätzer/Ascher unterschiedlichste Ätzbedürfnisse für eine Vielzahl von Branchen. Diese fortschrittliche Ätz-/Aschertechnologie liefert konsistente und zuverlässige Ergebnisse bei jeder Ätzausgabe.