Gebraucht TOKYO OKA / TOK TCE-3822 #293766670 zu verkaufen

TOKYO OKA / TOK TCE-3822
ID: 293766670
Wafergröße: 6"
Etcher, 6".
TOKYO OKA/TOK TCE-3822 ist ein Ätzer/Ascher mit einer hohen Leistung und Zuverlässigkeit, die perfekt für die anspruchsvollsten Anwendungen ist. Es ist mit einer hochgenauen Kontrollausrüstung ausgestattet, die eine präzise Bedienung ermöglicht. TOK TCE-3822 hat einen verbesserten Durchsatz und ist in der Lage, bis zu 20.000 Wafer/Stunde zu ätzen/zu spülen und ist auch mit einem Split Coater/Entwickler für die schnelle und genaue Entwicklung chemisch und mechanisch empfindlicher Materialien beladen. TOKYO OKA TCE 3822 verfügt über Präzisionskonstruktionen, die auf exakte Toleranzen für eine genaue Ausrichtung gebaut sind. Seine innovative Technik und Qualität ermöglichen eine überlegene Wärme- und Teileschädigungskontrolle bei Ätz-/Ascheprozessen. Die Konstruktionen erzeugen ein gleichmäßigeres Ätzen/Veraschen von Teilen und ermöglichen eine größere Flexibilität bei Automatisierungs- und Konstruktionsprozessen. TOKYO OKA TCE-3822 hat eine reduzierte Zykluszeit, die Anpassungen der Prozesszeiten zwischen Ätz- und Aschezeiten beinhaltet. Es bietet auch die fortschrittliche Steuerung, die eine enge Überwachung von Ätz- und Aschezyklen ermöglicht. Die grafische Benutzeroberfläche (GUI) ermöglicht es dem Benutzer, seinen Ätz-/Ashing-Prozess schnell und einfach einzurichten und bietet ein nützliches Hilfemenü, das den Benutzer bei seinen Ätz-/Ashing-Vorgängen unterstützt. Es bietet auch verschiedene Schutzfunktionen, einschließlich Sicherheitsabsperrungen, die eine Fehlbedienung von Ätz-/Ascheprozessen verhindern. Die Ätzkammer TCE-3822 ist eine antireflexbeschichtete Quarzätzkammer für gleichmäßiges Ätzen/Aschen ohne Ätzvorspannung. Es hat auch eine hohe Ätzrate, auch bei höheren Leistungsstufen, und ist kompatibel mit vielen Flüssigkeiten für ein breiteres Spektrum von Anwendungen. Die Kammer ist so ausgelegt, dass sie Gasprozesse effizient entlüftet und auch verbrauchte Gase entnimmt. Seine zweistufige Abgas- und Rückpumpeneinheit ermöglicht schnelle Durchflusseinstellungen für wechselnde Prozessdruckbedingungen und mehrere Rezepturen können für den späteren Einsatz eingespart werden. TCE 3822 ist ein zuverlässiger und präziser Ätzer/Ascher mit einer Reihe von Funktionen, die selbst anspruchsvollste Anwendungen bewältigen können. Seine robuste Konstruktion und integrierte Steuerungsmaschine machen es zu einer perfekten Wahl für das Ätzen und Aschen, und seine benutzerfreundliche Oberfläche sorgt für eine bequeme Bedienung. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen ist TOKYO OKA/TOK TCE 3822 die perfekte Wahl für alle Ätz-/Ascheanwendungen.
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