Gebraucht TOKYO OKA / TOK TCE-7822 #293625343 zu verkaufen

TOKYO OKA/TOK TCE-7822 ist ein leistungsstarker Ätzer/Ascher, der für hervorragende Leistung und Zuverlässigkeit in einer Vielzahl von Anwendungsumgebungen entwickelt wurde. Dieses Gerät eignet sich gut für Ätz- und Ascheprozesse mittlerer bis hoher Serienproduktion, auch im Labor- und Industriebereich. Die Ausstattung umfasst eine leistungsstarke Ätz-/Aschersäule mit einer einstellbaren Höhe für eine optimale Prozesssteuerung. Diese Säule ist auf einem festen Bettträger montiert, der auch eine Drehindexierung zur Überwachung der Ätzzeiten ermöglicht. Die Säule wird durch einen Schrittmotor gesteuert, der präzise und präzise Anpassungen in Ätzzeit, Temperatur und Druck ermöglicht. Das System umfasst auch einen Hochleistungs-Vakuumtank zur effizienten Rückgewinnung von Ätz- und Ascherückständen. TOK TCE-7822 wurde entwickelt, um eine Reihe fortschrittlicher Ätz- und Ascheprozesse zu ermöglichen. Die Einheit ist in der Lage, mehrere Substrate zu verarbeiten, und kann an eine Vielzahl von Ätzformen angepasst werden, einschließlich Gräben, über Ätzen, Kontaktlöcher, Seitenverhältnis (AR) Ätzen und Fensterätzen. Das Ätzfenster kann in der Größe von 0,1 bis 200 µm reichen. Zur Optimierung der Ätzgenauigkeit kann die Maschine auf variable anisotrope Ätzzeiten und variable Ätztiefen (DOE) eingestellt werden. TOKYO OKA TCE-7822 ist mit einer Reihe von Gasen und Reagenzien kompatibel und ermöglicht den Einsatz in einer Vielzahl von Prozessen. Ätzgase sind Sauerstoff, Stickstoff und Argon. Bei Verwendung in Verbindung mit einem dieser Gase kann das Werkzeug zum Nass- oder Trockenätzen verwendet werden. Reagenzien können sowohl für selektive Ätz- als auch Planarisierungsprozesse eingesetzt werden. Schließlich kann das Gut auch zum schnellen thermischen Glühen verwendet werden. TCE-7822 umfasst auch erweiterte Prozesskontrollfunktionen für Zuverlässigkeit und Genauigkeit in anspruchsvollen Umgebungen. Das Modell beinhaltet eine Multi-Gas-Substitutionssteuerung, die eine präzise Durchflusssteuerung und einen mehrfachen Gaseintrag ermöglicht. Das Gerät verfügt außerdem über eine Vakuumsteuerung, die zur Optimierung von Prozessdruck und Gleichmäßigkeit beiträgt. Diese Funktion hilft auch, schnelle Ätzraten, minimale Umlagerung und Verringerung der Ätzrückstände zu gewährleisten. Zusammenfassend ist TOKYO OKA/TOK TCE-7822 ein zuverlässiger und leistungsstarker Ätzer/Ascher, der eine Reihe von Ätz- und Ascheprozessen ermöglicht. Dieses System kann eine Vielzahl von Substraten verarbeiten, Ätzfenster mit einer Reihe von Größen verarbeiten und mehrere Gase und Reagenzien aufnehmen. Das Gerät verfügt über erweiterte Prozesssteuerungsfunktionen, wie Multi-Gas-Substitutionssteuerung und Vakuumsteuerung, für erhöhte Ätzgenauigkeit und Zuverlässigkeit.