Gebraucht TRIKON / AVIZA Celsior #182678 zu verkaufen

TRIKON / AVIZA Celsior
ID: 182678
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2010
ALD System, 12" PM1: SiN PM2: Brank PM3: High-k PM4: SiN PM5: Brank PM6: SiN 2010 vintage.
TRIKON/AVIZA Celsior ist ein Ätzer und Ascher, der chemische Ätz- und Ascheprozesse verwendet, um nanoskalige Geräte zu erstellen. AVIZA Celsior ist ein vollautomatisches Instrument, das die Auswahl einer Vielzahl von Ätzchemien und Prozessparametern ermöglicht. TRIKON Celsior verfügt über eine vollständig computergestützte Ausrüstung, die Parameter wie Temperatur, Druck, Temperaturgradient und Zusammensetzung von Ätzlösungen steuert. Darüber hinaus bietet Celsior Präzisionssteuerungen für Ätzrate, Durchsatz und Ätzqualität. TRIKON/AVIZA Celsior verwendet ein chemisches Dampfätzverfahren (CVE), das hohe Ätzraten bei sehr exakter Steuerung von Ätzrate und Topographie ermöglicht. Dieser Prozess in Verbindung mit der hochauflösenden Ätzmusterfähigkeit von AVIZA Celsior ermöglicht nanoskalige Prozesse. TRIKON Celsior bietet auch einen einzigartigen vakuumunterstützten Abscheideprozess, der eine Reihe von Abscheidungsoptionen ermöglicht. Celsior ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien zu ätzen und zu aschen, darunter Metalle, Legierungen, Oxide und Keramiken sowie gefertigte Proben wie Wafer und Düsen. Die Wafergröße im System beträgt 125mm bei einer Mindestfunktionsgröße von 10nm. TRIKON/AVIZA Celsior bietet auch drei Etch-Modi an: selektives Ätzen, volles Ätzen und/oder Decken-Ätzen. AVIZA Celsior verfügt zudem über eine voll integrierte Laborunterstützungseinheit, um qualitativ hochwertige Ätz- und Ascheprozesse sicherzustellen. Diese Maschine unterstützt das Be- und Entladen von Mustern, die automatisierte Prozesssteuerung, die Erstellung und Verwaltung von Rezepten, das Ätzen von Musterschichten, die Nachbearbeitung und die Erstellung von Berichten. Das Tool bietet auch die Erstellung und Verwaltung von Rezepten, Beispiellaufplanung und automatisierte Datenprotokollierung mit integrierten grafischen Anzeigen und Berichten. Das Asset bietet ein optionales automatisiertes optisches Inspektionsmodell zur Unterstützung der automatisierten Pixelbewertung geätzter und aschierter Proben. TRIKON Celsior ist eine ideale Lösung für Forscher und Entwickler von hochleistungsfähigen nanoskaligen Materialien und Prozessen. Durch die Kombination von hoher Ätzrate, Präzisionskontrolle und automatisierter Verarbeitung kann Celsior verwendet werden, um eine Vielzahl von Strukturen, Mustern und Komponenten mit höchster Qualität zu produzieren. TRIKON/AVIZA Celsior ist eine ideale Wahl für diejenigen, die hochpräzise Ätz- und Aschelösungen suchen.
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