Gebraucht TRIKON / AVIZA Celsior #293665944 zu verkaufen

TRIKON/AVIZA Celsior ist ein professioneller Vollfeld-, hochauflösender Waferätzer/Ascher, der zum Ätzen, Ablagern, Streifen und Reinigen von Breitbandsubstraten im Halbleiterherstellungsprozess verwendet wird. Es ist ein äußerst zuverlässiges, vollautomatisiertes und kostengünstiges Produktionswerkzeug. AVIZA Celsior etcher/asher verfügt über mehrere fortschrittliche Technologien, darunter das Automatic Exchange System (AES) und die Remote Plasma Source (RPS). Die AES bietet die Vorteile der Echtzeit-Qualitätskontrolle und der schnellen Verfügbarkeit der Prozessrezepte. Das RPS ist eine modulare Quelle des reaktiven Plasmas, die ein gleichmäßiges Ätzen aller Teile des Substrats ermöglicht. Darüber hinaus ist die Maschine mit einem fortschrittlichen DTC-System (Dynamic Thermal Control) ausgestattet, das einen stabilen Ätz- und Ablagerungsprozess in jeder Phase des Verfahrens gewährleistet. Außerdem ist TRIKON Celsior in der Lage, eine breite Palette von Prozessrezepten zu betreiben, um unterschiedliche Ergebnisse zu erzielen. Dazu gehören Ätzsubstrate wie Silizium, Quarz, Aluminiumoxid und TiN. Es hat auch die Fähigkeit, verschiedene Materialien abzuscheiden, einschließlich Metalle, Polyimid, SiO2, SiN und mehr. Darüber hinaus verfügt Celsior über ein eigenes Werkzeug zum Reinigen und Polieren des Substrats sowie zur Steuerung und Überwachung der Kammerbedingungen. Das Softwarepaket bietet automatisierte Wartung und Diagnose, Passwortschutz, Echtzeit-Parameterprotokollierung, Partikelverfolgung und vieles mehr. TRIKON/AVIZA Celsior etcher/Asher ist für den Einsatz in Reinräumen mit strengen Sicherheitsprotokollen konzipiert. Es ist einfach zu bedienen und zu warten, so dass optimale Mengen an Substraten effizient und mit überlegener Qualität verarbeitet werden. Der Ätzer/Ascher ist auch für parallele Verarbeitungsfunktionen konzipiert, was ihn zu einer idealen Wahl für Serienanlagen macht. Zusammenfassend ist AVIZA Celsior ein vielseitiger, voll ausgestatteter Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um eine breite Liste von Ätz- und Abscheidungsprozessen durchzuführen. Seine fortschrittliche Automatisierungstechnologie und Überwachungs- und Steuerungssysteme gewährleisten einen effizienten und gleichmäßigen Betrieb mit überlegener Substratqualität und bieten eine zuverlässige und kostengünstige Chipherstellung.