Gebraucht TRIKON / AVIZA Celsior #9180428 zu verkaufen
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ID: 9180428
Wafergröße: 12"
Atomic Layer Deposition (ALD) systems, 12"
ALD Oxide system:
BROOKS Gemini express central hub
(6) Facets for attachment of process modules
(2) Facets for pass through to atmospheric front end
Atmospheric front end with BROOKS
3-Axes robot
BROOKS Acculine wafer aligner
(2) BROOKS BOL TS/M Compatible load port modules
12" FOUP / Manual load
SMIF / Manual load, 8"
Off-board power distribution
Control enclosure for local branch circuit protection
Communication hubs
DC Power supplies
Input / Output hardware
Multiple process modules with hot wall reactor chamber
Shower head injection system
Single zone stage heater
Optimized for oxide deposition: 300°C to 500°C
Standard PM on board chemical vapor
Delivery system with integrated gas block design
Argon bubbled canisters for liquid source
IBM PC Compatible computer
OS With operator interface
Data acquisition
Recipe creation and storage
ALD Process module:
Single process module (PM)
With hot wall reactor chamber
Shower head injection system
(2) Zones stage heater optimized for oxide deposition
Process module:
Nola process module
Wafer transfer module
SECS / GEM Compliance, 12"
(2) Training credits
(2) Installation manuals
(2) Programmers manuals
(2) Operation manuals
(2) Maintenance manuals
(2) Systems schematics on CD-ROM
Options:
Signal light tower
Ionizer bar
System spares and tools:
Celsior shower-head swap kit
Includes:
Load-port handoff buttons
Digital MFCs
With digital (4 MFCs / PM)
Celsior fixture kit:
Stage heater calibration fixture
Ceramic removal fixture
Vacuum viewing fixture included
Robot teach fixture.
TRIKON/AVIZA Celsior ist eine fortschrittliche Ätz-/Ascheausrüstung für Präzision und Hochgeschwindigkeitsätzen und Aschen von Substraten. Dieses innovative System nutzt eine einzigartige Einheit der OTS (Opto-Thermal Sputtering) Technologie mit einer breiten Palette von Prozessfähigkeiten. Diese Maschine ist der Industriestandard für Verdampfung, Ionenbeschuss, Oxidation und Ätzen/Aschen von Substraten während des Halbleiterherstellungsprozesses. AVIZA Celsior verfügt über ein Opto-Thermal Sputtering (OTS) -Werkzeug, ein einzigartiges Verfahren, das Licht verwendet, um das Substrat zu sputtern und zu verdampfen. Diese Ressource bietet eine präzise Steuerung des Sputterprozesses und sorgt für gleichbleibend hochwertige Ergebnisse. TRIKON Celsior verfügt zudem über eine große, gleichmäßige Substratheizfläche, die ein schnelles und gleichmäßiges Glühen der bearbeiteten Oberflächen ermöglicht. Celsior verwendet ein integriertes, fortschrittliches digitales Regelungsmodell, um die Prozessparameter genau zu überwachen. Dadurch wird sichergestellt, daß beim Ätz-/Aschevorgang nur die gewünschte Materialmenge auf das Substrat aufgebracht wird. Darüber hinaus ist TRIKON/AVIZA Celsior mit integrierten Sicherheitsfunktionen, einschließlich Nothaltefunktionen, ausgestattet, um Betreiber vor potenziell gefährlichen Situationen zu schützen. AVIZA Celsior wird standardmäßig mit einer Vielzahl verschiedener Substratgrößen von 75-150 mm geliefert. Die Ausrüstung ist auch in der Lage, eine Vielzahl von verschiedenen Materialien zu handhaben, wie Silizium, Quarz, Glas und andere gemeinsame Substrate. TRIKON Celsior wurde auch entwickelt, um Metall und dielektrische Materialien zu verarbeiten. Celsior ist auf langfristige Zuverlässigkeit ausgelegt und in der Lage, Tausende von qualitativ hochwertigen Prozessen zu produzieren. TRIKON/AVIZA Celsior ist auch einfach zu bedienen, mit einem einfachen Steuerrad, das es dem Bediener ermöglicht, Parameter schnell und genau abzustimmen. Darüber hinaus bietet AVIZA Celsior eine Reihe fortschrittlicher Diagnosen und Fernüberwachung, mit denen Betreiber potenzielle Probleme schnell erkennen und beheben können. TRIKON Celsior ist ein fortschrittliches Ätz-/Aschesystem, das schnelle, zuverlässige und präzise Ergebnisse für eine Vielzahl verschiedener Anwendungen liefert. Das Gerät ist benutzerfreundlich und seine fortschrittliche Steuerungsmaschine sorgt dafür, dass nur die gewünschte Materialmenge aufgebracht wird. Celsior ist auch für langfristige Zuverlässigkeit konzipiert, mit einer Vielzahl von verschiedenen Substratgrößen und verschiedenen Materialien unterstützt. Damit ist TRIKON/AVIZA Celsior eine ideale Wahl für eine Vielzahl verschiedener Halbleiterherstellungsprozesse.
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