Gebraucht TRIKON / AVIZA Celsior #9226879 zu verkaufen

TRIKON / AVIZA Celsior
ID: 9226879
Wafergröße: 12"
Atomic layer deposition system (ALD), 12".
TRIKON/AVIZA Celsior ist eine fortschrittliche Präzisionsätzer und Ascher Ausrüstung entwickelt, um extrem hohe Genauigkeit Musterung und Verarbeitung bieten. Das System ist optimiert, um die kleinsten Funktionsgrößen und die präzisesten Muster- und Veraschungsergebnisse zu erzielen, sodass mikroelektronische Profis kleinste Merkmale auf ihren Halbleitersubstraten entwickeln können. Das Gerät ist für eine saubere, sofortige und genaue Verarbeitung ausgelegt, um eine optimale Leistung der elektronischen Geräte zu gewährleisten. AVIZA Celsior verfügt über geringe Energiebedürfnisse, kostengünstigen Betrieb und vielseitige Aschefähigkeit, so dass Benutzer aus einer Vielzahl von chemischen Quellen und Pulveraufbereitungstechniken wählen können. Durch die Verwendung einer neuartigen, legierungsverträglichen Ätzkammer ist TRIKON Celsior in der Lage, ein fugenfreies Ätzen von Legierungen oder sogar Mehrfachfolien herzustellen. Darüber hinaus ist die Ätzkammer mit einem integrierten vakuumunterstützten Reflow ausgestattet, um ein ordnungsgemäßes Schmelzen und gleichmäßiges Mischen von abgeschiedenen Metallen zu gewährleisten. Die Maschine ist in der Lage, präzise Ätzen und Aschen von Substraten so klein wie 8mm, so dass eine hohe Genauigkeit für kleinere Merkmalsgrößen. Zusätzlich ist Celsior in der Lage, bis zu 32 Millimeter große Substrate mit ungleicher Finesse zu verarbeiten. Hinsichtlich des Präzisionsätz- und Aschedurchsatzes weist die Maschine für jeden Schritt maximal zehn Ätz- und Aschestufen mit variabler Zeit auf. Das Tool umfasst auch Funktionen wie Online-Überwachung von Prozessparametern, automatische End-of-Run-Protokolle, automatische Feedback-Parameter, Vielfalt von Maskentypen, verbesserte mechanische Handhabung von Wafern und mehr. Um eine optimale Sicherheit für die Anwender zu gewährleisten, ist TRIKON/AVIZA Celsior mit einer Luftschleuse-Verriegelung ausgestattet und umfasst prozessspezifische Sicherheitsabdeckungen. AVIZA Celsior ist ein ideales Werkzeug zur Herstellung von winzigen und eng gemusterten Schichten im Geräteherstellungsprozess. Es ist eine perfekte Wahl für jedes Labor oder jede Produktionsumgebung, die Genauigkeit und Zuverlässigkeit bei minimalen Ausfallzeiten erfordert. Der geringe Leistungsbedarf und die hohe Genauigkeit machen es zu einer kostengünstigen Wahl für die Verarbeitung einer Vielzahl von mikroelektronischen Substraten.
Es liegen noch keine Bewertungen vor