Gebraucht TRIKON / AVIZA FxP #9135551 zu verkaufen

TRIKON / AVIZA FxP
Hersteller
TRIKON / AVIZA
Modell
FxP
ID: 9135551
Wafergröße: 8"
Dielectric deposition system, 8".
TRIKON/AVIZA FxP ist ein fortgeschrittener Ätzer (oder Ascher), der bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es ist ein vielseitiges, kostengünstiges und automatisiertes Werkzeug, das sowohl für die Frontend- als auch für die Back-End-Bearbeitung geeignet ist. Das Gerät ist mit einem automatisierten Prozesssteuerungsalgorithmus ausgestattet, der eine intuitive Benutzeroberfläche und eine präzise Steuerung des Ätzprozesses bietet. Die grafische Benutzeroberfläche des Geräts ermöglicht es dem Bediener, verschiedene Parameter für das Ätzen einzugeben, z. B. Zeit, Leistung, Druck und Durchflussrate. Darüber hinaus ermöglicht die Software mehrere Rezept-Set-ups und die Flexibilität, sie nach Bedarf zu modifizieren. Die Hardware verfügt über einen 6-achsigen Roboterarm, der die Waferbühne und den Maskenkopf während des Ätzvorgangs bewegt. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung der Ätzparameter und ermöglicht ein gleichmäßiges Ätzen sowohl gemusterter als auch nicht gemusterter Substratoberflächen. AVIZA FxP bietet erweiterte Prozessfähigkeit, wie z. B. gleichzeitiges mehrkristallines Ätzen. Es bietet auch einen hohen Ätzdurchsatz, erhöht die Produktionseffizienz und senkt die Kosten. Die Vorrichtung ist mit einer Multizielätzkammer ausgestattet, die die Bearbeitung mehrerer Wafer in einem einzigen Prozesszyklus ermöglicht. Diese Kammer ermöglicht ein gleichzeitiges Ätzen verschiedener Zeiten, Drücke und Spannungen und erübrigt die Überführung der Wafer in verschiedene Kammern. Neben einer präzisen Ätzsteuerung und optimierter Leistung ist TRIKON FxP äußerst sicher im Einsatz. Es ist mit einer Reihe von Betriebsmerkmalen und Sicherheitsfunktionen ausgestattet, um den Benutzer und die Wafer zu schützen und eine einfache, sichere und zuverlässige Nutzung zu gewährleisten. Dazu gehören eingebaute Diagnosen, einstellbare Sicherheitsalarme und Gasstromabschaltungen. Das innovative Design von FxP bietet zudem maximale Bedienersicherheit während des Ätzprozesses, indem die potentiell gefährlichen Gasverteilungskomponenten in einem abgedichteten Kühler eingeschlossen werden. TRIKON/AVIZA FxP ist ein hervorragendes Gerät zum Ätzen präziser Muster und Merkmale auf Wafern. Es bietet präzise Prozesssteuerung, hohen Durchsatz, benutzerfreundlichen und automatisierten Betrieb sowie erweiterte Sicherheitsfunktionen. Abschließend ist AVIZA FxP der perfekte Ätzer, um die Anforderungen der sich ständig weiterentwickelnden Anforderungen an die Herstellung von Halbleiterbauelementen zu erfüllen.
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