Gebraucht TRIKON / AVIZA Omega  FxP #293799540 zu verkaufen

TRIKON/AVIZA Omega FxP ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der speziell für Präzisionsätzen und Aschen in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es verfügt über eine fortschrittliche, automatisierte Flüssigkeitssteuerung, die eine optimierte Bearbeitungszeit und reduzierte Zykluszeiten ermöglicht. Die Maschine kann für fortgeschrittene Ätzasche von Photoresist, Metallisierung, MEMS, Photovoltaik und anderen Materialien verwendet werden, die bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet werden. Die Maschine ist einzigartig in ihrem Design, mit einer offenen Rahmenkonstruktion, einem optischen Sichtfenster und einer leicht zugänglichen Kammer für schnelle Wartung und Betrieb. Die Maschine kombiniert ein hocheffizientes Vakuumsystem, eine Präzisionsgasfördereinheit und eine leistungsstarke Heiz- und Kühlmaschine, um eine hervorragende Präzisionssteuerung beim Ätzen und Aschen zu bieten. Dadurch wird sichergestellt, dass die Oberfläche der Probe vollständig mit dem ausgewählten Ätzmittel bedeckt ist und in keiner Weise beschädigt wird. AVIZA Omega FxP verfügt auch über fortschrittliche Sicherheitssysteme wie Thermozylinder und einen Gasüberwachungssensor, um Gefahrensituationen zu erkennen und das Werkzeug im Notfall abzuschalten. Dies gewährleistet optimale Arbeitsbedingungen für den Anwender während der Arbeit im Ätzer/Ascher. Die Maschine hat eine Zielgenauigkeit von bis zu 1 µm und kann bei Temperaturen von -65 ° C bis 500 ° C betrieben werden. Es ist in der Lage, Substrate bis 200 mm Größe zu verarbeiten und unterstützt verschiedene Prozessgase wie CF4, O2, SF6 und Ar. Zum Ätzen oder Aschen bietet TRIKON Omega FxP auch eine einzigartige Dual-Mode-Ionenquelle, die sowohl einstufiges als auch mehrstufiges Ätzen in einem Asset bietet. Dies ermöglicht eine hohe Präzision und ein gleichmäßiges Ätz-/Aschemuster auf der Oberfläche der Probe. Alle Komponenten der Maschine sind von höchster Qualität und garantieren zuverlässigste und präziseste Ätz- und Ascheprozesse. Omega FxP ist ein vollautomatisches Werkzeug, das eine schnelle Einrichtung und schnelle Zykluszeiten ermöglicht. Damit ist das Modell eine ausgezeichnete Wahl für jeden fortschrittlichen Ätzascheprozess bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen.