Gebraucht TRIKON / ELECTROTECH Omega II #293668338 zu verkaufen

TRIKON/ELECTROTECH Omega II ist eine Ätz- und Aschemaschine für eine Vielzahl von Anwendungen im Bereich der Substrataufbereitung. Das Gerät verfügt über programmierbare Bedienelemente, die automatisierte Optionen und anspruchsvolle Rezepte für eine Reihe von Ätz- und Ascheprozessen ermöglichen, die für High-End-Photolithographie-Anwendungen erforderlich sind. Es hat eine maximale Ätzrate von 40 µm/min, eine maximale Ascherate von 80 µm/min und einen Temperaturbereich von 35 bis 70 ° C. TRIKON Omega II soll Fremdverunreinigungen durch Bereitstellung geschlossener Kammern begrenzen. Dieses Merkmal begrenzt die Freisetzung gefährlicher Rückstände, die beim Ätzen oder Aschen entstehen. Das Gerät verfügt über ein Abkühlsystem, das die Temperatur des geätzten oder aschierten Produkts reduziert. Neben dem Ätz- und Ascheprozess verfügt ELECTROTECH Omega II auch über eine integrierte Wafer-Handhabungseinheit. Dadurch kann der Benutzer eine Waferbewegung programmieren, die je nach gewünschtem Vorgang angehalten oder beschleunigt werden kann. Die Wafer-Handhabungsmaschine erleichtert auch automatisiertes Waferbeladen und spart Zeit und Arbeit. Darüber hinaus ist das Gerät mit einem Temperaturstabilisierungswerkzeug, Gassystemen, Oberhaubenraum und einem Nennbedienfeld der Klasse 1, Div 2 ausgestattet. Die Temperaturstabilisierung trägt dazu bei, dass der Temperaturbereich während des gesamten Ätz- und Ascheprozesses in festgelegten Grenzen bleibt. Die Gassysteme helfen, Prozessvariabilität und Durchsatz zu reduzieren. Das Nennbedienfeld Klasse 1, Div 2 ermöglicht es dem Benutzer, verschiedene Parameter im Zusammenhang mit dem Ätz- und Ascheprozess zu überwachen. Omega II ist für die einfache Bedienung mit PVC/FDA-zugelassenen Prozessgasen konzipiert, einschließlich CF4, CF2, O2, CHF3 und anderen. Darüber hinaus kann die Vorrichtung für mehrere Anwendungen eingesetzt werden, darunter chemisch-mechanische Planarisierung, Masken- und Waferreinigung sowie thermisches Oxidwachstum. Insgesamt ist TRIKON/ELECTROTECH Omega II eine vielseitige Ätz- und Ascheeinheit mit Präzisionssteuerungen und benutzerfreundlichen Funktionen. Seine geschlossene Kammer und andere Steuerungsmöglichkeiten machen es zu einem idealen Werkzeug für verschiedene Prozessanwendungen. Es bietet eine breite Palette von Prozessoptionen und ist auf zuverlässige, langfristige Leistung ausgelegt.