Gebraucht TRIKON Sigma 200 #9293542 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9293542
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1990
Sputtering system, 6"
Triple rack for RF Power supply
Turbo controller
Dealer controller
Main computer (CTC)
Data logger computer
AC Tray
Rack controller
Platen heater controller
RGA Controller
Operating system: FlexOS Version 3.01S
VCE (A & B):
Process: Wafers loaded, pumped and mapped prior
Vent gas: Nitrogen
Hot Sputter Etch (HSE):
Etch
Preheat module
Power (Coil and platen): 600 Watt
ADVANCED ENERGY RFX600 Generator (13.56 MHz)
Cryo pump, 8"
Process gas: Argon
50 SCCM MFC
300 SCCM MFC
Vent gas: Nitrogen
Platen heating: 450 C
Gauge to control and monitor vacuum
Deposition chamber (TiN):
Deposit Ti and TiN
Platen RF bias power: 600 Watt
ADVANCED ENERGY RFX600 generator (13.56 MHz)
Cryo pump, 8"
Process gas: Argon
300 SCCM MFC
100 SCCM MFC
Vent gas: Nitrogen
Platen heating: 450°C
Gauge to control and monitor vacuum
Deposition chamber (Al):
Deposit Al
Cryo pump, 8"
Process gas: Argon
300 SCCM MFC
Vent gas: Nitrogen
Platen heating: 450°C
Gauge to control and monitor vacuum
Transport chamber (Dealer):
Turbo pump on board
Vent gas: Nitrogen
Metal wafer cassette
1990 vintage.
TRIKON Sigma 200 ist ein Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um verschiedene Materialien wie Stahl, Messing und andere Metalle zu ätzen. Es eignet sich für den Einsatz in der Metallbearbeitung, im Prototypenbau und anderen speziellen Verfahren, die ein extrem präzises Ätzen oder Aschen erfordern. Das System verfügt über eine einzelne Gefäßätz- und Kühlkammer und ein vertikales Armhebesystem für eine bequeme Materialhandhabung. Die Ätzkammer besteht aus 6mm dickem Edelstahl und verfügt über ein 50mm hohes Sichtfenster auf der rechten Seite und eine abnehmbare Abdeckplatte. Die Ätzkammer ist mit Argon, Wasserstoff oder anderen inerten Gasen gefüllt. Die Temperatur wird mit einem digitalen Pyrometer überwacht und von Raumtemperatur bis 1.000 ° C einstellbar und geregelt. Das Armhebesystem wird manuell bedient, so dass der Benutzer die Materialien in der Kammer glatt und genau bewegen kann. Sigma 200 wird von einem 0,4 kW Netzmotor angetrieben. Es verfügt über einen automatischen Prozeßzeitgeber und eine digitale Anzeige zum Auslesen der Temperatur, Ätzzeit und anderer Parameter. Es kommt mit einer automatischen Temperaturregelung ausgestattet, um optimale Verarbeitungsbedingungen zu erhalten, sowie Übertemperaturschutz für zusätzliche Sicherheit. Die Ätzkammer ist durch einen Sicherheitsschalter gesichert und weist mehrere Sicherheitsmerkmale wie automatischen Absperrschutz für Temperatur und Druck auf. Der Prozessor ist auf optimale Effizienz ausgelegt. Es ist mit einem regenerativen Gebläse für verbesserten Luftstrom ausgestattet, das über das Bedienfeld auf der Seite des Geräts eingestellt werden kann. Dies führt zu verbesserten Ätzergebnissen. Es hat auch eine fortschrittliche Thermosimulationstechnik, die verwendet werden kann, um komplexe Ätzmuster oder Mikroätzen auf Materialien wie Edelstahl und Messing zu erstellen. Insgesamt ist TRIKON Sigma 200 ein zuverlässiger und leistungsstarker Ätzer, Ascher und Prozessor, der sich gut für den Einsatz in einer Vielzahl von Anwendungen eignet, die präzise Ätz- oder Ascheergebnisse erfordern. Mit seinem intuitiven Design, den anpassbaren Einstellungen und den erweiterten Sicherheitsfunktionen können Benutzer hochwertige Produkte effizient und einfach erstellen.
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