Gebraucht TRIKON Sigma 200 #9311777 zu verkaufen

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Hersteller
TRIKON
Modell
Sigma 200
ID: 9311777
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1990
Sputtering system, 6" (2) Load locks: VCE A, VCE B Turbo pump, 8" Hot Sputter Etch (HSE) chamber (2) Deposition chambers: Ti / TiN, Al (2) PVD Chambers (3) Cryo compressors (8200 Type) Triple rack for RF power supply Turbo controller Dealer controller Main computer (CTC) Data logger computer AC Tray Rack controller Platen heater controller Half height rack for DC power supply Operating system: FlexOS Electrical cables Power box Cryolines Does not include: Mechanical pump RGA Controller.
TRIKON Sigma 200 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher für die mittelgroße Prozessentwicklung. Itschigh-Präzisionsleistung und Laseroptik ermöglichen präzises Ätzen und Aschen für optimale Ergebnisse. Die Gerätekonsistenz eines sechsachsigen Robotermanipulators, der über eine intuitive, einfach zu bedienende Touchscreen-Oberfläche gesteuert wird. Das System verfügt über eine robuste Konstruktion, die rauen Bedingungen standhält und eine zuverlässige Bedienung und Genauigkeit gewährleistet. Der Sigma 200provides ein hochmodernes Design und ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien wie Glas, Metall, Keramik und Flüssigkristallpolymere zu ätzen und zu aschen. Seine Ablationsprozesse verwenden eine Vielzahl von Lasern, darunter UV, IR und YAG. Das symmetrische Kammerdesign erlaubt wiederholbare mittelgroße Prozesse mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit. Seine 30 cm x 30 cm x 30 cm große Kammergröße ist die perfekte formediumtechnische Prozessentwicklung. Es bietet eine trockene und nasse Umgebung zum Ätzen und Aschen, was eine bessere Kontrolle und höhere Erfolgsraten ermöglicht. Seine dynamische gemäßigte Steuerung ermöglicht es, auch bei hohen Geschwindigkeiten gut zu funktionieren. Sigma 200 kann angepasst werden, um die Größe der dielektrischen Maske an die zu bearbeitenden Geräte anzupassen, wobei eine genaue Ätzung der Merkmalsgrößen von 0,05 bis 5,00 mm möglich ist. Die hochpräzise Spiegeleinheit ermöglicht eine überlegene Wiederholbarkeit der Prozessparameter und liefert gleichzeitig die genaue Menge an Photonen, die für jeden Prozessschritt benötigt wird. Die 3D-Bildscanner-und Ausrichtungssysteme ermöglichen eine schnellere Ausrichtung und Ausrichtgenauigkeit von bis zu 0,5 m. Die Maschine ist auch mit einer Schmutz-Entfernungsmaschine ausgestattet, die die Ansammlung von Partikeln aus der Herstellung der Verarbeitungsschritte verhindert, um die höchste Qualität Endprodukt zu gewährleisten. TRIKON Sigma 200 verfügt auch über ein High-End-Sicherheitswerkzeug, das eine automatische Abschaltung der Sicherheit ermöglicht, einen Not-Aus-Schalter, eine Verriegelungsanlage und eine Auspuffhaube. Sigma 200 hat eine maximale Verarbeitungsgeschwindigkeit von 20 cm/min, die sich perfekt für mittelgroße Prozesse eignet. Es hat auch fortschrittlicheHochwasser-und Thermo-Reflux-Methoden, die verwendet werden können, um einheitliche Strukturen in nur 2 Minuten zu schaffen. Mit seiner intuitivetouch-screen Schnittstelle ist TRIKON Sigma 200 einfach zu bedienen und bietet höchste Genauigkeit und Wiederholbarkeit, so dass zuverlässige Prozessergebnisse gewährleistet sind. Mit seiner hochpräzisen Leistung, der quarz- und diamantbeschichteten Laseroptik und dem High-End-Sicherheitsmodell ist der Sigma 200 die perfekte Wahl für mittelgradige Ätz- und Ashed-Prozesse.
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