Gebraucht TRIKON Sigma FxP #9221542 zu verkaufen

TRIKON Sigma FxP ist eine komplette Palette von Präzisionsprozesswerkzeugen, die für das bahnbrechende Ätzen, Aschen und Härten von Polyimid und anderen Substraten in ultrasauberen Umgebungen entwickelt wurden. Die Ausrüstung bietet zuverlässige und skalierbare Ergebnisse für Feinätzen, Ätzen und Aschen von Substraten, einschließlich Polyimid und Silizium. Das System wurde entwickelt, um zuverlässiges und wiederholbares Ätzen, Aschen und Aushärten durch fortschrittliche Automatisierung und präzise, bordeigene Steuerung und Überwachung zu ermöglichen. Sigma FxP ist mit einer modularen Plattform konzipiert, die eine hohe Flexibilität und funktionale Skalierbarkeit bietet. Es verfügt über eine hochwertige, vollautomatisierte Plattform, die auf jede spezifische Anwendung oder jedes Substrat zugeschnitten werden kann und eine präzise Feinabstimmung aller Ätz- und Ascheparameter ermöglicht. Dieses robuste Prozesswerkzeug bietet In-situ-Prozesskontrolle, ausgezeichnete Ätz- und Ascherate sowie extrem niedrige Rückstandsmengen. Der Ätz- und Aschevorgang wird durch ein Ein- oder Mehrgasgeneratormodul mit einem maximalen Durchfluss von 25 sccm und einem minimalen Gasdruck von 2 psig ermöglicht. Diese fortschrittliche Einheit ist in der Lage, genaue Gaszusammensetzung auf größere Ätz- und Aschesteuerung und Reproduzierbarkeit zu überwachen. Darüber hinaus kann die Maschine mit benutzerdefinierten Rezepten programmiert werden, die jederzeit zurückgerufen werden können, um den Vorgang mit größter Wiederholbarkeit zu wiederholen. Das integrierte Advanced Control-Modul überwacht Prozessparameter und bietet eine intuitive Benutzeroberfläche, einschließlich einer intuitiven grafischen Anzeige und mehreren Ansichten, die Prozessinformationen in Echtzeit bereitstellen können. Das Tool bietet auch eine On-Board-Diagnose-Ressource, die die Überwachung kritischer Parameter für optimale Prozessleistung und -wartung sowie Modellwarnungen für schnelle Maßnahmen ermöglicht. TRIKON Sigma FxP-Geräte bieten auch einen Auto-Sensing-Modus, so dass der Benutzer auf ein anderes Ätz- oder Aschegas umschalten kann, wenn die Ätz- oder Aschebedingungen nicht optimal sind. Dieser Modus macht das System sehr vielseitig und ermöglicht das Ätzen und Aschen komplexer Substrate ohne manuelle Parameterabstimmung. Das Gerät bietet auch integrierte Tools und Optionen zur Prozessverbesserung, wie elektronische Signaturerfassung und Audit-Trailfunktionen, um eine optimale und detaillierte Dokumentation der Prozessbedingungen zu gewährleisten. Diese Tools helfen, die Qualität der Endprodukte zu maximieren.