Gebraucht TRION APO III #9216394 zu verkaufen

TRION APO III ist ein hochauflösender Ätzer/Ascher, der speziell für Produktionsprozesse in der Photomaskenindustrie entwickelt wurde. APO III erreicht maximale Auflösungsgenauigkeit und Gleichmäßigkeit beim schnellen und präzisen Ätzen oder Aschen von Photomasken. TRION APO III ist auf wiederholt konsistente Leistung und einfache Bedienung ausgelegt. APO III ist eine integrierte Ausrüstung bestehend aus einer vollständig geschlossenen Prozesskammer, einem Maskenhandhabungsmodul und einem Steuer- und Überwachungssystem. Die Prozesskammer ist mit zwei präzisionsgeregelten Ionenquellen und vier Bearbeitungskammern ausgestattet. Das Maskenhandhabungsmodul verfügt über eine automatische Maske-zu-Substrat-Ausrichteinheit zur komfortablen Beladung und Maskenausrichtung. TRION APO III Steuerungs- und Überwachungsmaschine umfasst Drucksteuerung, HF-Abstimmung, Rezepterstellung, Überwachung und Diagnose. APO III hat eine maximale Auflösung von 0,010 Mikron mit Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit von +/- 0,0005 Mikron. Der erste Stufenätzprozess erzeugt Ätzraten zwischen 10-20 Angström/Sekunde, mit einer Fähigkeit, bis zu 1000 Angström pro Maske zu belasten. TRION APO III führt auch eine Nass/Trockenbearbeitung mit HF und HCI durch, um auf Photomasken aufgebrachte Hartmaskenschichten für eine Vielzahl verschiedener Anwendungen zu erstellen. APO III bietet Flexibilität durch seinen mehrstufigen Ätzprozess, der einen größeren Durchsatz durch Ätzen mehrerer Schichten in einem Prozesszyklus ermöglicht. TRION APO III verfügt auch über ein leistungsstarkes Kühlwerkzeug mit hoher Kapazität, um die maximale Prozesswiederholbarkeit während langer Ätzzyklen zu erhalten. Darüber hinaus ist APO III für die Hochserienproduktion konzipiert und kann vollautomatische Muster-/Ausrichtungstests und Reparaturfunktionen anbieten. Schließlich ist TRION APO III so konzipiert, dass es benutzerfreundlich und bedienerfreundlich ist. Durch LCD-Display-Touchscreen kann der Benutzer den Ätzprozess einfach einrichten und überwachen und verschiedene Diagnosen während des Prozesses anzeigen. Die Anlage ist auch mit Sicherheitssystemen wie Gasalarmen, Kammertrocknern und Gasleckage-/Überdruckerkennungsüberwachung ausgestattet, die eine sicherere Betriebsumgebung fördern.