Gebraucht TRION Minilock Orion II #9195271 zu verkaufen
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ID: 9195271
Weinlese: 2001
PECVD Load lock triode system
(6) MFC: CF4, O2, TEOS, DES, NH3 and N2 for purge
Automatic purge (Gas cabinet)
Ceramic ring focuses plasma
Optimizing power utilization
Bottom and top electrodes are water cooled
Chamber equipped with: (2) Circular quartz viewing windows
Primary chamber material: Anodized aluminum
Components: Ceramic / Quartz
Computer has been replaced
Bottom electrode temperature: Resistive heater / IR Thermocouple
Upper electrode
Shower head gas distribution
Substrate loading system: Robotic / Manual
Ceramic upper chamber ring
Bottom chamber
AC Distribution / EMO
Gas cabinet: Mass flow controllers
Bottom electrode:
ADVANCED ENERGY Variable: 300-500 Watts (350-460 kHz)
AE RFPP LF-5 RF Power supply (Low frequency: 50-460 KHz)
Top electrode:
Triode source
ADVANCED ENERGY AE RFG 600 Watts
For film stress control capability 3001: 13.56 MHz
Includes:
EDWARDS QDP40 Drystar dry backing vacuum pump 230 VAC, 3 Phase pump
OSAKA TS443 Helical grooved turbo pump & controller
MKS 153 Throttle valve & controller
2001 vintage.
TRION Minilock Orion II ist ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher zur Herstellung von integrierten Schaltungen, Chippaketen und anderen elektronischen Komponenten. Seine kompakte Bauweise und seine vielseitigen Eigenschaften bieten eine effiziente und präzise Materialbearbeitung für ein breites Anwendungsspektrum. Minilock Orion II kann bis zu fünf Materialschichten gleichzeitig mit einer maximalen Drehzahl von 2.500 U/min für einen optimalen Durchsatz verarbeiten. Zu den Funktionen von TRION Minilock Orion II gehören eine hochgenaue Bewegungsausrüstung, ein umfassendes Set an Sicherheitsmerkmalen, variable Geschwindigkeitsraten und eine Vollmetallkammer für schnelleres Ätzen. Es verfügt auch über integrierte Materialerkennungssoftware, um die Programmierung zu vereinfachen und präzise und wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Für mehr Flexibilität kann Minilock Orion II mit zusätzlichem Zubehör wie einer erweiterten Kammer, integriertem Containmentring und automatisierten Materialhandhabungssystemen angepasst werden. TRION Minilock Orion II wird von einem wartungsarmen Direktantriebsmotor angetrieben, der von einem zweistufigen Vorschubsystem unterstützt wird. Dies ermöglicht eine präzise Materialpositionierung und eine höhere Genauigkeit beim Ätzen. Durch die Verwendung von verstellbaren Düsen und einer manuellen Fokussteuerung kann sie exakt auf die genaue Position eingestellt werden. Sein Temperaturbereich kann für Feinätzen auf Temperaturen bis -40 ° C eingestellt werden, während eine Wasserkühlmaschine für Gerätesicherheit sorgt. Minilock Orion II wurde entwickelt, um beispiellose Zuverlässigkeit und Flexibilität zu bieten und ist einfach in andere Geräte zu integrieren. Es ist auch mit umfangreichen Überwachungsfunktionen ausgestattet, um Anwendern genaue Daten während des Ätzprozesses zur Verfügung zu stellen. Die fortschrittlichen Sicherheitsmerkmale dieses Ätzers/Aschers machen es für eine breite Palette von Anwendungen in der Produktion und in der Forschung geeignet.
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