Gebraucht TRION Phantom II #9225903 zu verkaufen

TRION Phantom II ist ein Ätzer/Ascher, der für die Verarbeitung von Substraten bis 200 mm Durchmesser ausgelegt ist. Es handelt sich um eine hochmoderne Plasmaätz- und Aschevorrichtung mit einem HF-Generator mit variabler Frequenz, der eine reproduzierbare Verarbeitungssteuerung mit hoher Leistung bereitstellt. Die fortschrittliche Prozessüberwachungs- und Steuerungssoftware ermöglicht eine zuverlässige Substratverarbeitung mit gleichmäßigen Ergebnissen über mehrere Wafersubstrate hinweg. Das System gewährleistet ein gleichmäßiges und sicheres Ätzen und Aschen einer Vielzahl von Materialien wie Polysilizium, Polyimid, Silikatglas und Galliumarsenid (GaAs). Phantom II verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI), die es Anwendern ermöglicht, automatisierte Prozesse mit wenigen Mausklicks schnell einzurichten und zu skizzieren. Die fortschrittliche Prozesssteuerung ermöglicht optimale Ätz- und Ascheergebnisse sowohl im manuellen als auch im automatisierten Modus. Die Maschine ist robust und flexibel ausgelegt, so dass sie in fortschrittlichen Prozessschritten wie der chemisch-mechanischen Planarisierung (CMP) eingesetzt werden kann. Prozessparameter sind für verschiedene Anwendungen oder Substrate schnell einstellbar und eignen sich somit für eine Vielzahl von Materialien. Das Werkzeug ist in Abhängigkeit von der zu bearbeitenden Materialart mit mehreren Prozessgaszuführungen zum Ätzen oder Aschen konfigurierbar. Seine Prozesskammer ist mit vertikalen und horizontalen Gaszufuhrsystemen ausgestattet, die Gase gleichmäßig durch den Boden der Kammer verteilen, um Hot Spots zu verhindern. Unterdessen kann der Substrathalter auf bis zu 400 Celsius erwärmt werden, um die Prozessreproduzierbarkeit zu gewährleisten. Zur Verbesserung der Sicherheit und Zuverlässigkeit umfasst TRION Phantom II auch Gasmanagementsysteme zur Überwachung und Steuerung von Prozessgasen wie Stickstoff, Argon, Sauerstoff und Kohlendioxid. Das Vakuum-Management sorgt dafür, dass die Vakuumspiegel innerhalb des angegebenen Bereichs bleiben. Das Modell ist auch leicht und für ergonomische Bedienung für mehr Komfort konzipiert. Insgesamt ist Phantom II ein zuverlässiger und sicherer Ätzer/Ascher mit mehreren erweiterten Funktionen für einheitliche Ätz- und Ascheprozesse. Die benutzerfreundliche Oberfläche erleichtert das Einrichten und Scripten, während die zuverlässige Prozesssteuerung und Prozessüberwachung konsistente Ergebnisse liefern. Der leichte Rahmen und das ergonomische Design des Geräts machen es für langfristige Großprojekte geeignet.