Gebraucht TRION Phantom II #9308217 zu verkaufen
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ID: 9308217
Wafergröße: 6"
Reactive Ion Etcher (RIE), 6"
Mini lock
Gas manifold
Turbo.
TRION Phantom II ist ein hochpräziser Plasmaätzer/Ascher, der sowohl zum Ätzen als auch zum Aschen in akademischen, industriellen und staatlichen Forschungszentren geeignet ist. Es verfügt über einen automatisierten, dreistufigen Prozess, der eine Vielzahl von Materialien mit hoher Genauigkeit und Geschwindigkeit ätzen oder aschen kann. Phantom II beginnt mit einer Stromversorgung und Vakuumkammer. Innerhalb der Vakuumkammer werden eine Reihe von Gasen wie Fluor, Sauerstoff und Argon mit einer Hochspannungsquelle gezündet. Dieses aktivierte Plasma bricht ab und entfernt Oberflächenmaterial, wenn das Material in den Werkstückhalter eintritt, der dann zum Ätzen oder Aschen in den Bearbeitungsbereich eingelegt wird. TRION Phantom II ist außerdem mit einem fortschrittlichen intelligenten Bewegungsmodul und einer Schnelllenkung ausgestattet. Das Bewegungsmodul steuert die Bewegung des Waferhalters, die Bearbeitungsgeschwindigkeit und die Größe des Bearbeitungsbereichs. Das Schnelllenksystem leitet das Plasma auf die gewünschte Oberfläche des Wafers, was ein präzises, gleichmäßiges Ätzen oder Aschen ermöglicht. Phantom II ist mit einer voll integrierten, benutzerfreundlichen Bedieneinheit sowie einer umfassenden Materialbibliothek und Ätz-/Ascheprotokollen ausgestattet. Es enthält Parameter für Ätzrate, Ätzvorlauf, Ätzabtastung, Zielätzraten und maximale Ätzraten. Es bietet auch eine Reihe von Sicherheitsprotokollen zum Schutz der Benutzer und der Plasmakammer. Die Ätz- und Aschetechniken von TRION Phantom II liefern überlegene Ergebnisse mit höherer Qualität als herkömmliche Plasmaätztechniken. Es ist auch extrem flexibel und kann verwendet werden, um verschiedene Größen von Materialien zu verarbeiten, die Ätzgeschwindigkeit, Zielbereiche zu steuern und mit verschiedenen Materialien zu arbeiten. Insgesamt ist Phantom II eine leistungsstarke, fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine, die ausgezeichnete Genauigkeit, Geschwindigkeit und Flexibilität bietet. Es ist einfach zu bedienen und eignet sich für eine breite Palette von Materialien. Die herausragenden Ergebnisse sind für Forschung und industrielle Anwendungen sehr wertvoll.
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