Gebraucht TRION Titan #293670453 zu verkaufen

TRION Titan ist ein dedizierter tief reaktiver Ionenätzer/Ascher für eine breite Palette von Materialien. Es verfügt über ein einzigartiges Design mit zwei elektrisch isolierten Kammern zum Ätzen und Aschen, die Probenkontaminationen beseitigen und gleichzeitig einen hohen Produktivitäts- und kosteneffizienten Prozess ermöglichen. Das Gerät erzeugt präzises Ätzen und Aschen mit überlegenen Profileigenschaften und hohem Durchsatz. Es ist in der Lage, Filme von wenigen Angströmen bis zu einigen Mikrometern Dicke zu ätzen und zu aschen. Der Ätzprozess wird mit einer HF-Stromquelle betrieben, die zwischen 1 und 1000 Watt Leistung auf einen in die Ätzkammer integrierten Pfosten liefert. Die Post wandelt die HF-Energie in Ionen um, die dann zur Probe hin beschleunigt werden. Der Pfosten ist höhenverstellbar, um eine Anpassung der HF-Frequenz an die eingehenden Ionen zu ermöglichen. Der Ätzvorgang wird durch die Einspritzung eines Ätzgases verstärkt, was die Ätzrate erhöht und die Ätztiefengleichmäßigkeit verbessert. Das System kann zum Trockenätzen, Nassätzen und Richtätzen verwendet werden. Der Spülvorgang wird mit einer Gleichstromquelle betrieben, die bis zu zehnhundert Volt Strom auf einen in die Spülkammer integrierten Pfosten liefert. Der Pfosten wandelt dann die Gleichstromenergie in Ionen um, die dann zur Probe hin beschleunigt werden. Diese Ionen entfernen die obere Materialschicht aus der Probe. Wie beim Ätzen kann der Aschevorgang dadurch verstärkt werden, daß das Einspritzen eines Aschgases die Ascherate und die resultierende Tiefengleichmäßigkeit wieder erhöht. Titan verfügt über eine komplette Palette von Prozessüberwachungs- und Messtechnik-Hardware, um eine präzise Ätzung und Auswertung jeder einzelnen Probe zu gewährleisten. Das Gerät ist in der Lage, die In-situ-Endpunkterkennung während des Ätz- und Ascheprozesses zu überwachen, was eine präzise Kontrolle der Ätz- und Ascheprofile ermöglicht. Darüber hinaus ist diese Maschine in der Lage, die resultierenden Profile mit Laserinterferometrie und optischen Profilometern zu messen. TRION Titan ist ein ideales Werkzeug für die Forschung und Produktion von einer breiten Palette von Materialien, insbesondere für Anwendungen wie hohe Seitenverhältnisse MEMS, Nanomuster und Mikrofluidik aufgrund seines einzigartigen Designs für das Ätzen und Aschen.