Gebraucht ULVAC CS-300R #293607110 zu verkaufen
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ID: 293607110
Wafergröße: 2"-6"
ICP Reactive Ion Etcher (RIE), 2"-6"
Gases: ITO, Ti, GaN, PR, SiO2
PC Non-functional.
ULVAC CS-300R ist eine Ätz-/Aschemaschine, die entwickelt wurde, um verschiedene Materialien wie Silizium und Metalle schnell, präzise und sauber zu verarbeiten. Es ist ideal für die Herstellung von MEMs (Micro-electro-mechanical systems) in Bereichen wie der Halbleiterindustrie, der Automobilindustrie, Verbrauchergeräten und Stromversorgungen. Die Maschine besteht aus einer Prozesskammer, einer Vakuumkammer und einer Kühleinheit des Abgasprozessors. Die Prozesskammer von CS-300R ist aus Edelstahl gefertigt, so dass die Hochleistungs-Ätz- und Ascheprozesse sauber und präzise durchgeführt werden. Die Kammer ist so konzipiert, dass sie einfach und schnell gereinigt, gewartet und ausgetauscht werden kann und somit ideal für wiederholbare, zuverlässige Prozesse geeignet ist. Das Vakuumsystem ULVAC CS-300R verwendet eine zweistufige Pumpeinheit, um einen Druck von bis zu 2,25 x 10-3 Pa innerhalb der Kammer zu erreichen, was präzise, gleichmäßige Ätz- und Ascheprozesse auch bei einem größer skalierten Substrat ermöglicht. Diese Maschine ermöglicht auch schnellere Abpumpzeiten und höhere Prozessreinheit. CS-300R hat die Fähigkeit, die Verarbeitung in einer breiten Palette von Parametern einschließlich Temperaturbereich, Durchfluss und Druck. Diese Flexibilität ermöglicht es, eine Vielzahl von Ätz- und Veraschungsaufgaben zu bewältigen. Auch mit der fortschrittlichen hydrodynamischen Ätztechnik kann die Maschine die Ätzperiode effektiv reduzieren und Abfall minimieren. Zusätzlich zu diesen Funktionen ist ULVAC CS-300R mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen wie Alarmen und automatischen Abschaltungen integriert, um einen sicheren Ablauf des Prozesses zu gewährleisten. Darüber hinaus ist das Tool mit einem integrierten Rezept-Management-Asset ausgestattet, das dem Benutzer hilft, Rezepte für wiederholbare, präzise Ätz- und Ascheprozesse einfach zu erstellen, zu speichern und zu modifizieren. Insgesamt bietet CS-300R Ätz- und Aschelösungen, die präzise Fertigungsanforderungen erfüllen. Mit seiner Flexibilität und Kontrolle kann er eine breite Palette von Materialien mit präzisen Temperaturen, Drücken und Zeiten bewältigen, um präzise Ätz- und Ascheergebnisse zu erzielen. Es eignet sich hervorragend für den Einsatz in der Halbleiter-, Automobil-, Verbrauchergeräte- und Stromversorgungsindustrie.
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