Gebraucht ULVAC CSE-1100 #9055174 zu verkaufen

ULVAC CSE-1100
Hersteller
ULVAC
Modell
CSE-1100
ID: 9055174
Dry etcher.
ULVAC CSE-1100 ist ein fortschrittliches Ätz-/Aschersystem für anspruchsvolle Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Dieses System ist in der Lage, Feinstrukturätzen in einer Vielzahl von Materialien wie Silizium, Germanium und Galliumarsenid zu erzeugen. CSE-1100 verfügt über eine 150mm Einwafer-Ladeschloßkammer und eine verbesserte 300mm Waferkapazität, die gut für die Serienproduktion geeignet ist. Der Kern von ULVAC CSE-1100 ist seine Plasmaquelle. Diese leistungsstarke Plasmaquelle verfügt über ein einzigartiges Langzeitdesign für erweiterte Produktivität. Die Quelle verfügt auch über einen eingebauten Gasausgleichsregler, der die genaue Einstellung von Kammerdruck und Gasdurchflussraten ermöglicht, um die Ätzleistung zu optimieren. Der CSE-1100-Hochgeschwindigkeitsprozessor und der Speicher mit großer Kapazität sind für Ätzanwendungen konzipiert und können komplexe Ätzprozesse problemlos abwickeln. Der Prozessor enthält auch einen integrierten Graph-Editor, der die einfache Erstellung und Bearbeitung von Rezepten für jede Anwendung ermöglicht. Eine Schnittstellenbox ermöglicht die Steuerung und Überwachung der Mehrfachsysteme von ULVAC CSE-1100, einschließlich Controller, Prozessmonitor und Sicherheitssysteme. Es enthält auch eine RS485 Schnittstelle für den Anschluss an ein Netzwerk oder einen PC für den Remote-Betrieb. Das fortschrittliche Design von CSE-1100 umfasst auch ein ausgeklügeltes Softwarepaket mit einer Vielzahl von Funktionen zur Prozesssteuerung und -optimierung. Die innovativen Ätzrezepte und die Fuzzy-Logiksteuerung ermöglichen präzise Ätzergebnisse bei minimaler Variation der Prozessparameter. ULVAC CSE-1100 ist ein leistungsstarkes Ätzsystem mit einer Vielzahl von Funktionen, die sowohl den Durchsatz als auch die Produktionsqualität für fortschrittliches Halbleiterätzen steigern sollen. Die leistungsstarke Plasmaquelle, der intelligente Prozessor und die ausgeklügelte Software machen es zu einem idealen Werkzeug zum Ätzen komplexer Strukturen.
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