Gebraucht ULVAC CSE-1100 #9055175 zu verkaufen

ULVAC CSE-1100
Hersteller
ULVAC
Modell
CSE-1100
ID: 9055175
Weinlese: 1983
Dry etcher Power supply Pumping system 1983 vintage.
ULVAC CSE-1100 ist ein hochauflösender Ätzer/Ascher zur schnellen Herstellung von dreidimensionalen Mikrostrukturen. Seine Spin-Etch/Asche-Technologie kann in einer Vielzahl von Anwendungen wie dem Ätzen von MEMS und Halbleitersubstraten, der Herstellung von mikrofluidischen und Nanostrukturen und der Bildung von Dickschicht-Mikroschaltungen eingesetzt werden. CSE-1100 ist eine automatisierte Ätz-/Aschevorrichtung, die sowohl nasse als auch trockene Ätz-/Aschevorgänge verwendet. Seine Nassätzfähigkeiten ermöglichen das Ätzen unterschiedlichster Substrate, darunter Aluminium, Silizium und Germanium. Die Trockenätz-/Aschefähigkeit von ULVAC CSE-1100 ermöglicht die Bildung dreidimensionaler Strukturen mit hoher Präzision und Wiederholbarkeit. CSE-1100 ist mit zwei unabhängig voneinander gesteuerten Ätz-/Aschesystemen ausgestattet. Das Primärsystem besteht aus einer Vakuumkammer und einer Ätz-/Aschekathode, während die zweite Einheit aus einer Laserlichtquelle und einer rotierenden Aschscheibe besteht. Während eines Ätz-/Aschezyklus wird das Substrat zwischen Kathode und Anode innerhalb der Vakuumkammer angeordnet. Die Laserlichtquelle beleuchtet das Substrat und liefert die notwendige Energie, um den Ätz-/Aschevorgang zu beginnen. Beim Drehen der Scheibe entfernt sie allmählich das unerwünschte Material und formt die gewünschte Mikrostruktur. ULVAC CSE-1100 ist in der Lage, Geschwindigkeiten von bis zu 200 cm/h zu ätzen/zu spülen. Darüber hinaus bieten der digitale Präzisionsmotor und die Sensoren eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit, so dass komplizierte 3-dimensionale Strukturen mit wenigen Fehlern hergestellt werden können. Der Onboard-Controller von CSE-1100 sorgt für Konsistenz im Ätz-/Ascheprozess und bietet eine gut kontrollierte und reproduzierbare Maschine. Darüber hinaus ist ULVAC CSE-1100 mit einem integrierten Vakuumsensor ausgestattet, der die Optimierung des Ätz-/Ascheprozesses durch Überwachung von Druckänderungen innerhalb der Vakuumkammer ermöglicht. Insgesamt bietet CSE-1100 eine effiziente und zuverlässige Möglichkeit, dreidimensionale Mikrostrukturen herzustellen. Das hochpräzise Ätz-/Aschewerkzeug ermöglicht die Herstellung komplexer Mikrostrukturen mit minimalen Defekten und konsistenten Ergebnissen. Darüber hinaus bieten der automatisierte Ätz-/Ascheprozess und der bordeigene Vakuumsensor ein zuverlässiges und reproduzierbares Ätz-/Aschegut.
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