Gebraucht ULVAC Enviro I #9014612 zu verkaufen
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ID: 9014612
Wafergröße: 6"-8"
Strip system, 6"-8"
Single chamber
Optical end-point detection
Downstream microwave and low-damage RIE modes
Single wafer
Load-locked
MESC compatible tool
Multi-step processing capabilities
Windows-based software
Off-line recipe selection
SECS/GEM communication standards
Data logging in the control system.
ULVAC Enviro I ist ein Ätzer/Ascher zum schnellen Ätzen und Strukturieren von Metallen, Legierungen und manchmal Halbleitermaterialien. Es ist eine kompakte, benutzerfreundliche Ausrüstung mit einem fortschrittlichen Controller und einer leistungsstarken motorisierten Bühne, um ein genaues Ätzen von Zielmaterialien bei hohen Geschwindigkeiten zu ermöglichen. Das System hat einen modularen Aufbau, der eine einfache Wartung und Anpassung für eine Vielzahl von Prozessparametern ermöglicht. Enviro I ist mit einem fortschrittlichen Dreiphasenspinner ausgestattet, der eine einheitliche Ätzung großer Zielflächen mit konsistenter Rate ermöglicht. Die 10 x 10 cm große Prozesskammer sorgt für maximalen Nachweis auch feinster Gerätekomponenten, während ein Niederdruckgrenzschalter für optimale Sicherheit sorgt. Das Gerät beinhaltet auch einen Hochtemperatur-Widerstandsheizer, der schnelle Aufwärme auf Temperaturen bis 500 ° C ermöglicht, und einen Hochdruck-Widerstandsheizer, der ideal für Ätzprozesse bis 250 Torr ist. Darüber hinaus ist ULVAC Enviro I mit einer automatischen Drucksteuerung und Vakuumentlüftung sowie Plasmaätzen, Substratreinigung, Vorätzen und Tiefenprofilen ausgestattet. Die intuitive PC-basierte Steuerung von Enviro I ermöglicht einfachen Zugriff auf alle Funktionen und Programmierung, sodass Benutzer die Prozesseinstellungen sofort anpassen können. Die Maschine verfügt auch über einen intelligenten Auto-Modus, in dem die Kammeratmosphäre und der Druck Schritt für Schritt automatisch auf den Zieldruck für jede Ätz- oder Musteraufgabe eingestellt werden. Das All-in-One-Tool bietet Flexibilität und Komfort, ideal zum Mustern von Wafern, zum Erinnern von Masken oder zum präzisen und schnellen Ätzen von Metallteilen.
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