Gebraucht ULVAC Enviro II #293813794 zu verkaufen

ULVAC Enviro II ist ein Ätzer/Ascher für eine Vielzahl von Anwendungen wie Plasmaätzen, Aschen und Reinigen. Es ist ein vertikal belasteter, umfassender Ätzer/Ascher mit einer Vielzahl automatisierter Funktionen und Vakuumausstattungskonfigurationen. Die Maschine ist für die industrielle Fertigung ausgelegt, kann aber bei Bedarf auch für den Kleinbetrieb eingesetzt werden. Es verfügt über ein flexibles Substrattransportsystem, das die Verarbeitung verschiedener Materialoberflächen sowohl ein- als auch mehrteiliger Substrate ermöglicht. Das Gerät ist in der Lage, eine breite Palette von Ätz- und Aschebehandlungen zu unterstützen, so dass der Benutzer Parameter wie Spannung, Temperatur, Konzentrationen und Dauer genau steuern kann. Zudem sorgt der vollautomatisierte Waferübertragungsmechanismus für eine hohe Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit. Enviro II enthält eine anspruchsvolle Vakuummaschine, die für alle Arten von Ätz- und Ascheanwendungen geeignet ist. Es ist auf maximale Prozessgleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit ausgelegt und bietet gleichzeitig Prozesssteuerungs- und Überwachungsfunktionen. Das Vakuumwerkzeug der Maschine kombiniert Niederdruckpumpen mit programmierten Hochvakuumventilen für höheren Durchsatz und Prozessgleichförmigkeit. Das Asset kann auf die Anwendung zugeschnitten und entwickelt werden, um Partikel zu minimieren und eine konsistente Prozessumgebung zu erhalten. ULVAC Enviro II verfügt auch über ein fortschrittliches Kühlmittelmodell für Spezialätz- und Trockenprozessanwendungen. Komponenten wie Heizungen, Kühler und variabler Frequenzantrieb (VFD) wurden entwickelt, um den Fluidfluss und die Kühlrate für mehr Prozesseffizienz und Zuverlässigkeit zu maximieren. Enviro II ist anpassbar, um die Anforderungen der verschiedenen Substratverarbeitung zu erfüllen. Es verfügt über eine offene Architektur und bietet Technikern einfachen Zugang zu allen Komponenten für schnelle Wartung und Reparatur. Darüber hinaus umfasst die Maschine einen integrierten Prozesscontroller und ein Diagnosesoftwarepaket mit einer interaktiven grafischen Benutzeroberfläche. Diese Art von Softwarepaket erleichtert die Einrichtung, Steuerung und Diagnose von Ätz- und Ascheprozessen. Zusammenfassend ist ULVAC Enviro II eine automatisierte Ätzwaschanlage, die sowohl für die Groß- als auch für die Kleinserienfertigung entwickelt wurde. Es verfügt über fortschrittliche Vakuum-, Kühlmittel- und Reglertechnologie, die auf die Anwendung für erhöhte Prozesseffizienz und Zuverlässigkeit zugeschnitten ist. Das System ist offen gestaltet und bietet einfachen Zugang für Wartung und Diagnose sowie eine intuitive Benutzeroberfläche für Einrichtung und Bedienung.