Gebraucht ULVAC Enviro II #9258348 zu verkaufen

ULVAC Enviro II ist eine hochmoderne Trockenätz- und Aschemaschine, die zur Verbesserung des Produktionsdurchsatzes der chemischen Dünnschichtproduktion (CVD) entwickelt wurde. Es ist das ideale System zum Ätzen und Aschen von Substraten aus Halbleiterscheiben wie Si, GaSb, InP, SiC und GaN sowie Nichthalbleitermaterialien wie Ferrite, Glas, Quarz und Keramik. Die Sourcekammer von Enviro II ist mit drei hochwertigen Gasquellen wie Chlor (Cl2), Bortrichlorid (BCl3) und Bortrifluorid (BF3) ausgestattet. Die Quellkammer ist so konzipiert, dass sie eine hochpräzise Kontrolle der Gaskonzentrationen ermöglicht und bis zu 300 sccm Cl2 genau messen kann, was eine konsistente und hocheffiziente Ätzung ermöglicht. Die Kammer ist auch mit zwei separaten Edelstahlsockeln für einfaches Be- und Entladen des Waferträgers ausgestattet. ULVAC Enviro II verfügt über ein einzigartiges, innovatives Feature - die Dualkammer-Architektur. Dadurch kann der Benutzer in der Quellkammer und der Asche-/Spülkammer gleichzeitig Wafer ätzen und/oder waschen. Diese Kapazität ermöglicht eine schnellere Verarbeitung und höhere Produktivität. Enviro II wurde auch entworfen, um die Sicherheit zu maximieren und die Umweltbelastung zu verringern. Es verwendet ULVAC proprietäre einwandige Kühleinheit, die dazu beiträgt, dass die Ausrüstung kühl bleibt und effizienter läuft. Dies reduziert den Stromverbrauch und macht ULVAC Enviro II energieeffizienter. Enviro II ist auch mit einer Luftduschrohrmaschine ausgestattet, um Verschmutzungen von außen zu verhindern. Die Kammer weist unter dem Filterkasten auch eine Waferschale auf, die den Gasvorläufer enthält und eine Gasströmung bei Nichtgebrauch verhindert. ULVAC Enviro II ist das ideale Ätz- und Aschewerkzeug für jede Produktionsumgebung. Sein fortschrittliches Design und seine Funktionen maximieren die Produktivität bei gleichzeitiger Minimierung von Kosten und Umweltauswirkungen. Mit seiner hohen Leistung und Benutzerfreundlichkeit ist Enviro II die perfekte Lösung für jede Ätz- oder Ascheanwendung.