Gebraucht ULVAC Enviro II #9272299 zu verkaufen

Hersteller
ULVAC
Modell
Enviro II
ID: 9272299
Weinlese: 2004
System 2004 vintage.
ULVAC Enviro II ist eine hochmoderne, von ULVAC Technologies Inc. ULVAE Enviro II ist ideal für Anwendungen in der Halbleiterindustrie und Materialwissenschaft, die eine präzise und gleichmäßige Ätzung, Asche oder Kristallisation erfordern. ULVAC Enviro II ist ein Einkammer-Ätz-/Aschesystem mit einer breiten Palette von Prozessfähigkeiten. Es verfügt über eine erweiterte Remote-Prozesssteuereinheit, die sowohl manuellen als auch automatischen Betrieb ermöglicht. Die Maschine arbeitet in einem breiten Spektrum von Prozessgas, von Inertgasen bis zu Ätzmitteln. Es verfügt über eine voll ausgestattete geschlossene Temperatur- und Druckregelung, die einheitliche und wiederholbare Prozessbedingungen erzeugt. Enviro II ist in der Lage, in einem breiten Spektrum von Temperatur-, Druck- und Atmosphärenbedingungen zu arbeiten, um die anspruchsvollsten Anforderungen zu erfüllen. Das Werkzeug wurde entwickelt, um eine saubere, kontaminationsfreie Arbeitsumgebung zu bieten und verfügt über eine automatische Probenein- und -entladung, um eine hohe Serienproduktion zu ermöglichen. Das Modell ist komplett mit hochpräziser Druck- und Temperaturerfassung und -kontrolle und gewährleistet eine schnelle und genaue Prozessüberwachung. ULVAC Enviro II verfügt zusätzlich über eine leistungsstarke Vakuumausrüstung mit einer leistungsstarken Hochgeschwindigkeits-Turbomolekularpumpe und Drehschieber-Pumpsystem sowie schnelles Ansprechen und lange Lebensdauer elektrisches Vakuumventil. Das Gerät eignet sich perfekt zum Abscheiden von Folien, zum Abscheiden konformer Filme, zum Aschen und Ätzen, zum epitaktischen Wachstum, zum Glühen und zur Datenspeicherung. Enviro II ist für die Produktion mit hohem Durchsatz ausgelegt. Es profitiert von ULVAC fortschrittlicher Multi-Batch-Steuerungstechnologie, verbesserter Prozessgasmischung und reduziert die Rüstzeit weiter. Es ist eine produktionsbereite Maschine mit hiSpec III Datenerfassungs- und Überwachungsfunktionen mit GAT-Advance Multi-Point-Analyse für eine hervorragende Prozesskontrolle mit Echtzeit-Datenüberwachung. ULVAC Enviro II ist ein exquisites Werkzeug der Wahl für kritische Ätz- und Ascheprozesse, um höchste Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Einheitlichkeit zu erreichen.
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