Gebraucht ULVAC Enviro #9398706 zu verkaufen

ULVAC Enviro
Hersteller
ULVAC
Modell
Enviro
ID: 9398706
Downstream microwave asher.
ULVAC Enviro ist ein überlegenes Ätz-/Aschesystem, das den Herausforderungen fortschrittlicher Halbleiterherstellungsprozesse gerecht wird. Es ist ein fortschrittliches System mit einem sehr zuverlässigen, automatischen Schutzmechanismus für die totale Prozesssteuerung. Das System ist mit einer automatischen Sensor- und Steuereinheit ausgestattet, um die Prozessbedingungen genau zu überwachen und hohe Ätz-/Ascheleistungen zu bieten. Enviro verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche und einen Touchscreen mit einem einfachen symbolgesteuerten Menü, das eine einfache Bedienung und Suchfunktionen ermöglicht. Die benutzerfreundliche Software ermöglicht es, bis zu zehn verschiedene Ätz-/Ascherezepte schnell zu speichern und abzurufen. Die mitgelieferten Kühl- und Heizprogramme sind mit voreingestellten Temperatur- und Prozesszeitempfehlungen ausgestattet und können an die jeweilige Anwendung angepasst werden. ULVAC Enviro bietet 4 Prozesskammern mit getrennten Steuerungen für jede Kammer. Um qualitativ hochwertige Ätz-/Ascheergebnisse zu gewährleisten, werden ULVAC-Ätzkammern mit einer verstellbaren Plattenanordnung versehen, die über den gesamten Plattenbereich ein sehr gleichmäßiges Ätzmuster liefert. Dies hilft bei der Erhaltung von Ätz-/Ascheeigenschaften verschiedener Halbleitermaterialien während desselben Batch-Zyklus. Der Ätz-/Ascher kann an eine komplette Smart-Wafer-Trimmer-Einheit mit einem automatischen Gasgemisch angeschlossen werden, um die Anforderungen des Prozesses zu erfüllen. Enviro bietet auch Hochtemperatur-Aluminium-Kammern (bis zu 600℃) und seine Prozesse sind entworfen, um ultrafein-Feature-Ätzen/Aschen der Hunderte von Edelstahl, Nickel und Wolfram-Legierungen, die in der fortschrittlichen Halbleiterherstellung. ULVAC Enviro liefert zuverlässige, top-of-the-line Materialätz-/Ascheergebnisse, mit Wiederholbarkeit und Präzision von der Industrie gefordert. Die einfachen Menüoptionen, Steuerungsfunktionen und das zuverlässige Prozesskammerdesign reduzieren Prozesszeiten und verbessern den Ertrag. Die ULVAC-Ätz-/Aschetechnologie erhöht die Produktivität, senkt die Probenkosten und sorgt für optimale Zuverlässigkeit und Leistung der Geräte.
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