Gebraucht ULVAC FRE-200E #9244585 zu verkaufen

ULVAC FRE-200E ist ein reaktives Ionenätzwerkzeug (RIE), das zum Ätzen einer Vielzahl von Substraten verwendet wird, die auf einer Reihe von Materialien mit hoher Selektivität und Genauigkeit basieren. Das Gerät ist in der Lage, Substrate bis 200 mm Durchmesser zu verarbeiten. Mit Hilfe seiner fortschrittlichen Hochfrequenz-Stromversorgung können FRE-200E das Ätzen bei einem größeren Bereich von Verarbeitungstemperaturen zwischen 0 und 200 ° C bewältigen. Darüber hinaus ermöglicht seine konfigurierbare Ausrüstung die Verarbeitung einer Vielzahl von Halbleitersubstraten und kritischen Musterformen, einschließlich LIGA, Mehrschichtstapeln, Dünnschichtprozessen, MEMS, fortschrittlichen Verpackungen und Paneelen. ULVAC FRE-200E bietet auch Vertrauen für den Anwender mit Prozess-Einheitlichkeit dank der 2D-Monitor und Endpunkt-Erkennung Unterstützung. Es ist auch mit einem Wafer-Drehmechanismus ausgelegt, um eine gleichmäßige Ionenverteilung für Präzisionsätzen zu gewährleisten, die eine glattere Verarbeitung komplexer Formen ermöglicht. Darüber hinaus hilft die Funktion einer speziellen Hilfsinduktivität dem Konstrukteur, das Ätzprofil zu optimieren und die Lastkrümmung zu reduzieren. Die Maschine verfügt über ein Lastverriegelungssystem für eine benutzerfreundliche Art der subjakenten und postätzenden Abscheidung. Es ist auch mit ULVAC proprietärer „Soft Land“ -Technologie ausgestattet, einem einzigartigen Landungsalgorithmus, der Verunreinigungen vermeidet und die reibungslose Planung und den Betrieb der HF-Stromversorgung unter verschiedenen Substratbedingungen ermöglicht. FRE-200E ist auch mit den neuesten Sicherheitsfunktionen wie der Absperr-/Absperreinheit, der Verriegelungstürmaschine und dem Wasserüberwachungswerkzeug für eine sichere Betriebsumgebung konzipiert. Insgesamt ist ULVAC FRE-200E ein Ätz-/Ascherwerkzeug, das Genauigkeit, Effizienz und Sicherheit kombiniert, um selbst komplexeste Substrate zuverlässig zu ätzen. Das konfigurierbare Asset, die fortschrittliche HF-Stromversorgung, das Lastverschlussmodell für die Abscheidung und die Endpunkterkennung für die Prozessgleichförmigkeit machen es zu einem wertvollen Werkzeug sowohl für die Forschung als auch für die Industriemärkte.