Gebraucht ULVAC Luminous NA 800 #293669776 zu verkaufen

ULVAC Luminous NA 800 ist ein Ätzer/Ascher für Halbleiteranwendungen. Es ist ein vertikaler Plasmaätzer, der eine hervorragende Qualität für die Ätzbearbeitung verschiedener Materialien wie Halbleitermaterialien, Gläser und Keramiken bietet. Mit seiner fortschrittlichen Technologie und seinem anspruchsvollen Design ist Luminous NA 800 in der Lage, extrem niedrige Ionenenergie und niedrige Temperaturen zu liefern. Dies gewährleistet minimale Material- und Substratschäden sowie ein Minimum an Sputtern. ULVAC Luminous NA 800 besteht aus vier Hauptkomponenten: der Ätzkammer, der Quellkammer, der Pumpenkammer und der Steuereinrichtung. Die Ätzkammer ist ein Edelstahl isolierter Druckbehälter mit einem kreisförmigen Quarzfenster. Es enthält Plasma, das von HF-Spulen geliefert wird, und eine Stickstoffgaszufuhr zur Mitte der Kammer. Die Quellkammer dient als Vorratsbehälter für Gase, die Pumpkammer zur systeminternen Reinigung und Abstimmung für optimale Leistung. Die Steuereinheit besteht aus mehreren Eingabetasten, einer digitalen Anzeige, einer bedienergesteuerten Gasströmungsmaschine und einem HF-Generator. Die Ätzkammer ist mit zwei übereinstimmend einstellbaren HF-Spulen und zwei Sätzen automatischer Leistungsabstimmnetzwerke ausgestattet, die eine hohe Ätzselektivität bei minimaler Überätzung bieten. Mit seinem fortschrittlichen automatischen Plasmasteuergerät ist Luminous NA 800 in der Lage, höhere Prozessgleichförmigkeiten im Vergleich zu herkömmlichen Ätzsystemen zu erreichen. Dies macht es ideal für Präzisionsätzen. Darüber hinaus kann der HF-Generator präzise, präzise Leistung bei jeder Leistung oder Frequenz beibehalten, was steilere Ätzprofile ermöglicht. ULVAC Luminous NA 800 bietet zudem höchste Prozesssicherheitsstandards. Es ist mit mehreren Verriegelungen ausgestattet, um sicherzustellen, dass die höchsten Sicherheitsstandards erfüllt werden. Darüber hinaus verfügt es auch über eine Reihe von Funktionen zur Verbesserung der Prozessreproduzierbarkeit, wie automatische Gassteuerung, automatische Rückkopplung und konstante Leistung/Frequenz-Regelung. Dadurch wird sichergestellt, dass qualitativ hochwertigste Teile hergestellt werden. Insgesamt ist Luminous NA 800 ein leistungsstarker Ätzer/Ascher, der den Anforderungen von Halbleiteranwendungen gerecht wird. Mit seinem innovativen Design und seiner fortschrittlichen Technologie ist ULVAC Luminous NA 800 in der Lage, überlegene Ätzqualität und Präzision bei sehr niedrigen Temperaturen und Ionenenergien zu liefern. Es verfügt über eine Reihe von Funktionen, um die Sicherheit und Reproduzierbarkeit des Prozesses zu gewährleisten und ist damit eines der besten verfügbaren Ätzsysteme.