Gebraucht ULVAC NA-8000 #9314090 zu verkaufen

ULVAC NA-8000 ist ein Ätzer/Ascher, der eine hohe Präzision und Kontrolle beim Ätzen und Aschen bietet. Es ist weit verbreitet für die Verarbeitung unterschiedlichster Substrate, einschließlich Siliziumscheiben, Glas und Metalle. Dieses Gerät verfügt über ein Doppelkammerdesign, das dem Vorätzen und Trockenätzen mit dem anderen für das Nachätzen und Nassätzen gewidmet ist und maximale Flexibilität und Effizienz im Ätz- und Ascheprozess ermöglicht. Das System verwendet eine rechnergesteuerte Zeit- und Temperatursteuereinheit, die die gewünschte Ätztiefe und -rate bestimmt. Dies ermöglicht ein genaueres Ätzen und Aschen mit weniger über Ätzproblemen. Die Bestrahlung des Substrats mit einem Plasma ermöglicht eine verbesserte Ätz- und Ascheleistung. Die Ätzrate und Gleichmäßigkeit werden erhöht, während die Kontamination verringert wird. ULVAC NA8000 verfügt über eine Loadlock-Maschine für präzises Wafer-Handling. Dies ist insbesondere bei der Verarbeitung fragiler Substrate nützlich, da dadurch Beschädigungen oder Vergasungen minimiert werden. Die Wafer können auch vom Werkzeug be- und entladen werden, ohne das Vakuum zu brechen oder das Gut einer Kontamination aus der Außenumgebung auszusetzen. NA 8000 bietet eine breite Palette von Prozessparametern zum Ätzen und Aschen, wie Druck, Temperatur und Belichtungszeit. Das Modell verfügt außerdem über eine Automatisierungsroutine, mit der Benutzer mehrere Ätz-/Ascherezepte mit unterschiedlichen Prozessparametern einrichten und verwalten können. Dieses Gerät ist kompatibel mit den Formaten P-2.5, P-3 und P-4 für eine schnelle Einrichtung und einfache Messung. Das NA-800 ist mit einer verstellbaren Stufe ausgestattet, die bis zu 800x500 mm verstellbar ist. Diese integrierte Bühne ermöglicht es Benutzern, schnell und effektiv den Bereich zu maskieren, der nicht geätzt wird. Das System verfügt außerdem über einen direkten Plasmagenerator und eine eingebaute Halbleiter-Gasliefereinheit. Diese Funktionen automatisieren den Ätz-/Ascheprozess und ermöglichen es auch Benutzern, den Gasfluss und den Druck zu steuern. ULVAC NA 8000 Ätzer/Ascher ist eine kompakte, präzise und einfach zu bedienende Einheit, die sowohl zum Ätzen als auch zum Aschen kleiner und großer Substrate sehr effektiv ist. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien zu ätzen und zu aschen, und es bietet die Flexibilität und Bequemlichkeit einer Doppelkammermaschine mit einer automatisierten Prozessroutine. Der verstellbare Bühnen- und Direktplasmagenerator bietet Anwendern eine höhere Kontrolle und Präzision beim Ätzen und Aschen. Das Werkzeug ist auch mit mehreren Formaten kompatibel, was es zu einer idealen Lösung für die Halbleiterverarbeitung macht.