Gebraucht ULVAC NE-5000N #293758555 zu verkaufen

ULVAC NE-5000N ist eine Präzisionsätz- und Aschemaschine, die geeignete Genauigkeits- und Präzisionsätz- und Ascheprozesse für die Herstellung elektronischer Bauelemente und Halbleiterbauelemente bietet. Es bietet eine erhöhte Zuverlässigkeit, Präzision, Kontaminationskontrolle und Durchsatz, um die Ablation und selektive Ätzung zu erleichtern. Es eignet sich für die Herstellung von mehrschichtigen metallischen Verdrahtungen, MEMS-Sensorelementen und dünnen Wafer-Prozesstechnologien. Die Präzisionsätzfähigkeit des Systems ermöglicht die Materialentfernung auf Nanometer- und Mikrometerebene. Es verwendet eine Ultrahochvakuum (UHV) -Kammer mit einer integrierten HF/DC-Quelle und zwei Hochleistungs-Hochleistungsquellen, die parallel arbeiten, um eine breite Palette von Plasmaätzen bereitzustellen. Das Gerät ermöglicht durch seine Advanced Language (ADL) hoch kontrollierte und wiederholbare Ätzprozesse, die eine präzise Prozesssteuerung ermöglichen. Es bietet auch präzise Ätzrezepte und schnelle Ätzzyklen. Die integrierte HF/DC-Quelle ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien selektiv zu ätzen, darunter Metalle, Polymere und Dielektrika. Die HF/DC-Quelle arbeitet im gepulsten oder kontinuierlichen Modus, wodurch die Ätzzeit und -tiefe weiter gesteuert werden kann. Darüber hinaus ist die HF-Quelle auch in der Lage, Hochleistungs-Plasmaätzverfahren, einschließlich Eloxierung und Reinigung verschiedener Materialien. Die Vakuumkammer ist mit einer Mehrbenutzer-Prozesseinheit ausgestattet, die das gleichzeitige Ätzen mehrerer Wafer erleichtert. Die Maschine enthält auch eine Ionenpistole und Ionenstrahlätzfähigkeit, die anodische Oxidation und selektives Ätzen von Aluminiumschichten ermöglicht. Es hat auch eine Sputterbeschichtung und Ionenstrahlabscheidungswerkzeug für Dünnschichtätzen und Abscheiden. Die fortschrittliche Temperaturregelung und das Kammerdesign ermöglichen eine präzise und wiederholbare Prozesssteuerung für alle Prozesszyklen, einschließlich Waferkühlung, was optimierte Ätzraten, Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit ermöglicht. NE-5000N nutzt auch ein neues Reinigungsmittel, um Kontaminationen zu verhindern, was dazu beiträgt, die Lebensdauer zu verlängern und die Zuverlässigkeit von Prozesskammern zu verbessern. Das Modell ist sehr zuverlässig konzipiert und erfordert eine minimale Wartung. Seine fortschrittliche Software kann verwendet werden, um eine Vielzahl von Prozessproblemen zu beheben. ULVAC NE-5000N ist auch mit benutzerfreundlichen Touchscreen-Displays und -Steuerungen entworfen, so dass es einfach zu bedienen und Parameter anpassen.