Gebraucht ULVAC NE 550 #293758401 zu verkaufen

ULVAC NE 550
Hersteller
ULVAC
Modell
NE 550
ID: 293758401
Etcher.
ULVAC NE 550 ist eine Ätzmaschine der Firma ULVAC Technologies, Inc. NE 550 wurde entwickelt, um den Zeitaufwand für das Ätzen oder Aschen von Wafern durch den Einsatz einer „trockenen Prozesstechnologie“ zu reduzieren. Diese Technologie beschleunigt den Ätz-/Ascheprozess durch eine Kombination aus Haltetisch, Plasmastrom und Stickstoffgas. ULVAC NE 550 ist mit einer Computersteuerung und einem strukturierten TISCH ausgestattet, der die Haftung der Ätzasche auf der Oberfläche des Wafers verbessert. Diese Tabelle bietet auch eine ausgezeichnete Flachheit des Wafers. Die Kammergröße auf NE 550 beträgt 40 cm (Länge) x 36 cm (Breite) x 25 cm (Höhe). Dies ermöglicht Wafer bis 400 mm Durchmesser und dicke Folien bis 1 mm. ULVAC NE 550 ist auch mit einer Redo- und Auto-Ausrichtung ausgestattet, sodass das System den Wafer vor dem Ätzen schnell ausrichten kann. NE 550 verwendet zwei Plasmaquellen, induktiv gekoppelte und Elektronen-Zyklotron-Resonanz (ECR), mit einem Leistungsbereich von 10 bis 3.000 Watt für präzises Ätzen/Aschen. Der Temperaturbereich liegt zwischen 100 ° C und 450 ° C und die Ätzrate beträgt 0,3 μ m/min bis 15 μ m/min. ULVAC NE 550 verfügt über eine automatisierte Steuereinheit mit programmierbaren Rezepten und Parametern, die eine benutzerfreundliche Bedienung ermöglicht. Die Maschine verfügt auch über ein modernes reaktives Gaswerkzeug, das die Verwendung von Sauerstoff, Stickstoff, HCl, CF4 und SF6-Gasen für Ätz- und Ascheanwendungen kombiniert. NE 550 ist ideal zum Ätzen/Aschen von Metallen und dielektrischen Schichten auf Siliziumscheiben. Es wird auch in verschiedenen Branchen für die Verarbeitung von Halbleiterbauelementen, Solarzellen und Flachbildschirmen verwendet. Es ist weit verbreitet in Forschung und Entwicklung Anwendungen. ULVAC NE 550 ist ein effektives Asset, das sich als effiziente und zuverlässige Lösung für jede Ätz-/Ascheanwendung erwiesen hat. Seine Kombination aus Präzision, Geschwindigkeit und Genauigkeit macht es zu einer idealen Wahl für die Herstellung anspruchsvoller Komponenten. Es ist eine großartige Option für Benutzer, die erweiterte Ätz- und Aschwerkzeuge benötigen, um zuverlässige und präzise Ergebnisse zu erzielen.
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