Gebraucht ULVAC NE 550 #9236724 zu verkaufen

ULVAC NE 550 ist ein Ätzer/Ascher für moderne Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Es ist ein einzelner Kammerätzer/Ascher, der eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen bewältigen kann. Es ist mit einer einzigartigen kathodischen Bogenätzquelle ausgestattet, die mit kontrolliertem Sputtern perfekte Ätzergebnisse liefert. NE 550 ist ein hochpräzises Werkzeug, das atomare Ätz- und Ascheprozesse mit höchster Qualität und Reproduzierbarkeit durchführen kann. Seine Plasmaquelle ist eine perfektionierte Kathodenbogenentladung mit einer maximalen Spannung von 4,4 kV und einer Leistung von 2 kW. Es ist in der Lage, Wafer von 200 bis 500 mm Durchmesser und ohne Schäden an der Umgebung zu verarbeiten. Dadurch wird die Fremdstofferzeugung eliminiert und somit keine gefährlichen Chemikalien beim Ätzen und Aschen eingesetzt. Die Luftschloßkammer ist vollständig abgedichtet und nutzt eine Vakuumkammer von 1x10 bis 6 Torr und eine Temperatur von bis zu 300 Grad C. Ihre Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit macht das Gerät produktiver und bietet höchste Leistung für Ätzprozesse. Die Ätz- und Aschezeit kann je nach Materialart und Rezeptur an die jeweilige Anwendung angepasst werden. ULVAC NE 550 bietet auch einige erweiterte Funktionen wie die Edge Angle Steuerung und die Kammer schnelle Kühlung. Die Kantenwinkel-Steuereinheit hilft, die Ätzzeit zu reduzieren, indem sie den Winkel der Ätzquelle steuert. Dies verbessert die Gleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit der Ätzergebnisse und verhindert auch die Oxidation des Substrats. Die kammerschnelle Kühlmaschine hilft, die thermische Stabilität des Wafers zu reduzieren. Dieses Tool hilft, Fehler durch Temperaturschwankungen zu reduzieren und die Qualität der geätzten Schichten zu verbessern. Insgesamt ist NE 550 ein fortschrittliches Ätzwerkzeug, das überlegene Ätzergebnisse und verbesserte Prozessgleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit bietet. Es sorgt für maximale Prozesseffizienz und höchste Ausbeute an Geräten. Es ist eine perfekte Wahl für hohe Genauigkeit und hohe Durchsatz Ätzanwendungen.