Gebraucht ULVAC NE 550EXa #293627815 zu verkaufen

ULVAC NE 550EXa
Hersteller
ULVAC
Modell
NE 550EXa
ID: 293627815
Etcher.
ULVAC NE 550EXa ist ein voll ausgestatteter Ätzer/Ascher, der eine hervorragende Ätz- und Ascheleistung bietet. Die Ausrüstung ist mit einem fortschrittlichen Kammerdesign und einer Vielzahl von Prozess-, Pumpen- und Absaugoptionen ausgestattet, die auch auf die anspruchsvollsten Ätz- und Ascheanforderungen zugeschnitten werden können. NE 550EXa Kammerdesign verfügt über erweiterte Zweizonen-, Dreh- und Linearantriebe sowie unabhängige Mehrzonenätz- und Aschefunktionen. Die Prozesskammer nutzt eine HF-betriebene, geheftete Wandkonstruktion mit einem doppelwandigen Prozessabgaskrümmer für maximalen Pumpkammerspülwirkungsgrad und optimale Prozesssteuerung. Die Dual-Zone-Konstruktion ermöglicht das Ätzen und Aschen von Merkmalen in mehreren Bereichen des Wafers. ULVAC NE 550EXa verfügt auch über eine Vielzahl von Prozess-, Pumpen- und Absaugkomponenten, darunter eine hocheffiziente, mehrgängige Magnetron-Sputterquelle, eine interne Fensterkühlkammer, eine anspruchsvolle Mehrkanalpumpe, eine Vielzahl optionaler Prozessgase und deren Gemische und eine elektrisch isolierte Kammer. Die optionale hocheffiziente Mehrkanalpumpe eignet sich ideal für großvolumige Prozesse, die einen maximalen Prozessdurchsatz und eine maximale Steuerung erfordern. Das System bietet auch anpassbare Prozessprogramme und Motoren mit variabler Drehzahl, um den Ätz- und Ascheprozess zu optimieren und zu automatisieren. Die programmierbaren Prozesseinstellungen ermöglichen es Benutzern, Prozessparameter wie Kammerdruck, HF-Sputterleistung, Spannungsfutter, Beschichtungs-/Ätz-/Aschezeiten, Temperatur und Gasfluss zu konfigurieren. Darüber hinaus ist NE 550EXa auf Sicherheit und einfache Wartung ausgelegt. Das Gerät verfügt über eine Sicherheitsverriegelungsmaschine und ein umfassendes Überwachungswerkzeug mit akustischen und optischen Alarmen für potenziell gefährliche Bedingungen. Die Anlage umfasst auch ein einfach zu bedienendes elektronisches Bedienfeld und eine grafische Farbbenutzeroberfläche, eine Laborautomationsschnittstelle und einen netzwerkfähigen Betrieb. ULVAC NE 550EXa ist ein fortschrittlicher Ätzer und Ascher, der selbst die strengsten Ätz- und Ascheanforderungen erfüllt. Sein fortschrittliches Kammerdesign, anpassbare Prozessprogramme und verschiedene Prozess-, Pumpen- und Absaugoptionen vereinfachen den Prozess der Erstellung präziser, funktionsreicher Teile für die Fertigung. Ob für das Ätzen und Aschen von Klein- oder Großteilen, NE 550EXa kann helfen, Kosten zu senken, die Effizienz zu verbessern und den Produktionsprozess einfacher und zuverlässiger zu machen.
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