Gebraucht ULVAC NE-700 #293807237 zu verkaufen

ULVAC NE-700 ist eine vielseitige Plasmaätz- und Aschemaschine für verschiedene Halbleiterherstellungsprozesse. Diese fortschrittliche Ausrüstung kann präzise Plasmabearbeitung auf verschiedenen Substraten durchführen und ist damit ein wesentliches Werkzeug in der Halbleiterherstellung, Forschung und Entwicklung. NE-700 verfügt über eine robuste Plasmaquelle, die ein hochreaktives Plasma für Ätz- und Ascheprozesse erzeugt. Das System beinhaltet eine Hochfrequenz-Stromversorgung, die Energie an das Plasma liefert und eine gleichmäßige und kontrollierte Plasmaentladung erzeugt. Dieses Plasma mit hoher Dichte ist wesentlich, um genaue und wiederholbare Ätz- und Ascheergebnisse zu erzielen. Eines der Hauptmerkmale von ULVAC NE-700 ist seine Flexibilität im Umgang mit verschiedenen Substratgrößen und Materialien. Das Gerät ist mit einem vielseitigen Spannfutter-Design ausgestattet, das verschiedene Größen von Substraten aufnehmen kann, von kleinen Proben bis hin zu vollständigen Wafergrößen. Diese Flexibilität ermöglicht es Anwendern, verschiedene Arten von Substraten ohne zusätzliche Ausrüstung oder Modifikationen zu verarbeiten. NE-700 bietet auch eine präzise Kontrolle über Prozessparameter, einschließlich Gasdurchflussraten, Kammerdruck, HF-Leistungsstufen und Prozesszeit. Anwender können diese Parameter einfach anpassen, um Ätz- und Ascheprozesse für bestimmte Anwendungen zu optimieren und die gewünschten Ergebnisse mit hoher Wiederholbarkeit zu erzielen. Die Maschine ist mit fortschrittlichen Gaszufuhr- und Steuerungssystemen ausgestattet, die genaue und stabile Durchflussraten von Prozessgasen während der Plasmabearbeitung gewährleisten. Diese präzise Steuerung des Gasstroms ist entscheidend, um gleichmäßige Ätz- und Ascheergebnisse über die gesamte Substratoberfläche zu erzielen. ULVAC NE-700 verfügt über ein ausgeklügeltes Tool zur Prozessüberwachung und -steuerung, das eine Echtzeit-Überwachung von Plasmaparametern wie Plasmadichte, Temperatur und Zusammensetzung ermöglicht. Diese Überwachungsfunktion ermöglicht es Benutzern, Prozessbedingungen zu optimieren und Variationen beim Ätzen und Auswerten von Ergebnissen zu minimieren. In Bezug auf Sicherheit und Zuverlässigkeit ist NE-700 mit mehreren Sicherheitsfunktionen zum Schutz der Benutzer und der Ausrüstung konzipiert. Die Anlage umfasst Verriegelungen, Drucksensoren und Alarme, die einen sicheren Betrieb gewährleisten und potenzielle Gefahren während der Plasmabearbeitung verhindern. ULVAC NE-700 ist auch für einfache Wartung und Wartbarkeit konzipiert, mit zugänglichen Komponenten und benutzerfreundlichen Schnittstellen. Dies macht es zu einer kostengünstigen Lösung für Halbleiterfabriken und Forschungseinrichtungen, die zuverlässige und leistungsfähige Plasmaätz- und -veraschungsanlagen benötigen. Insgesamt ist NE-700 ein modernes Plasmaätzer- und Aschermodell, das hohe Leistung, Flexibilität und Zuverlässigkeit für eine breite Palette von Halbleiterverarbeitungsanwendungen bietet. Dank seiner fortschrittlichen Eigenschaften und präzisen Steuerungsfunktionen ist es ein wesentliches Werkzeug, um qualitativ hochwertige Ätz- und Ascheergebnisse in der Halbleiterherstellung und -forschung zu erzielen.