Gebraucht ULVAC NE 7700 #9111268 zu verkaufen

ULVAC NE 7700
Hersteller
ULVAC
Modell
NE 7700
ID: 9111268
Weinlese: 2000
Platinum dry etcher 2000 vintage.
ULVAC NE 7700 ist ein hochpräziser, niedriger Temperaturätzer/Ascher, der zum Ätzen einer Vielzahl von Materialien entwickelt wurde. Seine niedrige Temperaturfähigkeit ermöglicht es, empfindliche und empfindliche Materialien mit minimalem Abbaurisiko zu ätzen. NE 7700 verfügt über eine Prozesskammer, die aus Edelstahl mit einem internen Volumen von 71L hergestellt ist. Es ist mit einem Kohlendioxid (CO2) -Gasfördersystem versehen, das eine genaue und einheitliche Ätzprozesskontrolle in der gesamten Kammer ermöglicht. Die Schlitzbeladung ermöglicht ein einfaches Be- und Entladen des Substrats und bietet Schutz vor Schmutzpartikeln in der Prozesskammer. Zusätzlich ist eine integrierte Vakuumpumpe zur Evakuierung von Verunreinigungen und flüchtigen organischen Verbindungen aus dem Verfahren enthalten. Zur Prozesssteuerung verfügt ULVAC NE 7700 über ein Netzteil (Netzteil) mit manueller und programmierbarer Stromversorgung. Das Netzteil ist hochgenau mit seiner Einschaltzeit und Abschaltzeit in Schritten von 10 ms einstellbar, und die gesamte Stromversorgungsdauer ist in Schritten von 25 ms einstellbar. Ein Vakuumdruckanzeiger (VPI) ist auch für die Überwachung des Verarbeitungsdrucks während des gesamten Prozesses enthalten. NE 7700 ist mit einem optimalen Prozesseinstellprogramm ausgestattet, das den Nassätzprozess basierend auf den Ätzbedingungen automatisch steuert. Durch Eingabe der Soll-Ätztiefe und Empfindlichkeiten für Ätzrate und Profil berechnet das Programm dann die optimalen Bedingungen für den Ätzprozess. Die Ätzrate ist von 0,2 bis 20 μ m/min einstellbar und der Ätztemperaturbereich beträgt 0 ° C - 70 ° C. ULVAC NE 7700 ist ein vielseitiger Ätzer/Ascher, mit dem eine Vielzahl von Materialien, darunter Metalle, Halbleiter und Polymere, geätzt werden können. Es ist kompakt, Desktop-Design ermöglicht es, leicht in jede Laborumgebung integriert werden, und es ist niedrige Temperatur Fähigkeit macht es für präzise geeignet, empfindliche Ätzanwendungen. Als solche ist es eine ideale Wahl für das Ätzen und Veraschen von Anwendungen in Universitäten, Forschungsinstituten und Produktionsumgebungen.
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