Gebraucht ULVAC NE-950EX-V #9298401 zu verkaufen

ULVAC NE-950EX-V ist eine Ätz-/Aschermaschine, die modular aufgebaut ist. Es ermöglicht ein qualitativ hochwertiges Ätzen unterschiedlichster Materialien, von Metallen bis hin zu Halbleitern. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von verschiedenen Größen von Substraten zu ätzen/zu aschen, bis einschließlich 250mm Wafer. Das System ist mit einem Sensor ausgestattet, um die Größe des Substrats zu erfassen, so dass für jeden Ätzvorgang die richtigen Einstellungen vorgenommen werden können. Die Einheit ist auch in der Lage, bis zu drei verschiedene Ätz- und zwei Aschestationen aufzunehmen, wodurch mehrstufige Ätz- und Ascheprozesse in einem Lauf durchgeführt werden können. Das Hauptmerkmal von NE-950EX-V ist seine Vielseitigkeit. Es verfügt über eine vierachsige X-Y-Z- θ Steuermaschine, mit der jedes Substrat exakt positioniert und auf maximale Ätzgenauigkeit eingestellt werden kann. Das Werkzeug kann auch verschiedene Prozessgase aufnehmen und ist in der Lage, die Strömung jedes Gases genau zu steuern. Dadurch können unterschiedliche Ätz- und Ascheprozesse für verschiedene Anwendungen mit größerer Kontrolle über Ätzprofile und Leistung eingesetzt werden. Angetrieben wird das Asset von einer automatisierten Steuereinheit, die für kundenspezifische Ätz- und Aschevorgänge benutzerprogrammierbar ist. Es ist auch mit einem integrierten Auto-Tuning-Modell für optimierte Prozessparameter konzipiert und kann fernüberwacht und gesteuert werden. Dies ermöglicht einen schnellen, stabilen und zuverlässigen Betrieb auch bei Prozesswechseln. Die Ausrüstung verfügt außerdem über umfassende Sicherheitsmerkmale mit Verriegelungen und Überwachungselementen, um unbefugte und potenziell gefährliche Operationen zu verhindern. Abschließend ist ULVAC NE-950EX-V ein leistungsfähiger und leistungsfähiger Ätzer mit Präzisionssteuerung und Automatisierung. Mit seiner hohen Flexibilität und optimierten Bedienung ist es ein ideales System für alle Arten von Ätz- und Ascheanwendungen.