Gebraucht ULVAC NE-950EX #293647319 zu verkaufen
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ULVAC NE-950EX ist ein Etch/Asher, der den Anforderungen von High-End-Forschung und industriellen Anwendungen gerecht wird. Dieses Instrument erzeugt qualitativ hochwertiges, hochauflösendes Ätzen auf Wafern, integrierten Schaltungen und anderen Substraten. Unter Verwendung eines schmalen Elektronenstrahls liefert es eine hohe Ätzrate, eine geringe Kontamination und eine ausgezeichnete Oberflächenqualität. NE-950EX verfügt über eine proprietäre Radialstrahl-Steuereinrichtung für eine überlegene Tiefenkontrolle und verfügt über eine abgeschirmte Heißkathoden-Elektronenkanone für verbesserte Strahlstabilität und Gleichmäßigkeit. Mit dem proprietären Gasmischsystem ULVAC unterstützt der Ätzer eine Vielzahl von Gasen, darunter Methan, Sauerstoff, Stickoxid, Stickstoffgas, Argon und mehr. Darüber hinaus ist das Gerät mit einer automatischen Gaszusammensetzung und Durchflusssteuerungsmaschine sowie einer umfassenden Prozesssteuerungssoftware für schnelles und effizientes Ätzen ausgestattet. Die Software ermöglicht es dem Benutzer auch, Parameter für jeden Ätzprozess festzulegen, um konsistente Ergebnisse zu gewährleisten. Darüber hinaus bietet ULVAC NE-950EX eine abgedichtete HF-Plasmakammer, um Kontaminationen beim Ätzen zu minimieren. Sein ausgeklügeltes Heizwerkzeug hilft, das Ätzen effizienter zu machen, indem es die Temperatur der Prozessoberfläche erhöht und das Gas ionisiert, um eine Plume aus Ionen und Elektronen zu bilden. Diese Ionen reagieren mit dem Substratmaterial, wodurch sich ein gleichmäßiges Ätzprofil ergibt. Die Anlage ist zudem mit einem integrierten, automatisierten Vakuummodell und einer umfassenden Ausstattungsüberwachungs- und Diagnosesoftware ausgestattet. Diese Überwachungssoftware ermöglicht es dem Benutzer, Echtzeit-Systemparameter, Gasfluss und -druck, Kammertemperatur und Fehlermeldungen zu überwachen. Darüber hinaus bietet es die Möglichkeit, Daten zur weiteren Analyse und Aufzeichnung in einen externen Drucker oder Computer zu exportieren. Schließlich ist NE-950EX auf einfache Bedienung ausgelegt und wird mit einer intuitiven Benutzeroberfläche und Touchscreen-Controller angeboten. Dieser Ätzer/Ascher bietet überlegene Ätzergebnisse, reduzierte Substratverschmutzung, hohe Oberflächenqualität und Auflösung sowie eine hervorragende Tiefenkontrolle in einer kompakten und erschwinglichen Einheit.
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