Gebraucht ULVAC NE-950EX #293828963 zu verkaufen

ULVAC NE-950EX Ätzer/Ascher ist eine fortschrittliche Trockenätzausrüstung zum Präzisionsätzen oder Aschen von extrem dünnen Folien in einer Vielzahl von Anwendungen. Dieses System ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien wie Si, GaAs, Cu und andere zu handhaben. Mit seinem ausgeglichenen Lastrahmen und der verbesserten Schubkapazität ist dieses Gerät so konzipiert, dass es einen hohen Durchsatz und Genauigkeit aufrechterhält und gleichzeitig die maximale Kontrolle der Prozessparameter behält. NE-950EX bietet einen hochpräzisen Ätz- oder Aschevorgang. Diese Maschine ist mit mehreren Prozessfähigkeit ausgestattet, die hohen Durchsatz und schnelle Wendezeit bietet. Dazu gehören die automatische Einstellung der richtigen Waferdicke, eine präzise Druckregelung und eine präzise Temperaturregelung. Sein DC-Betrieb sorgt für konsistente Leistung und eliminiert das Risiko einer elektrostatischen Entladung. Darüber hinaus ist es mit einem fortschrittlichen Rohrdruckmonitor integriert, der partikelfreie Partikel in der Prozesskammer gewährleistet. Mit ULVAC advanced Plasma Generator bietet ULVAC NE-950EX eine hohe Ätzgeschwindigkeit bei minimaler Beschädigung des Substratmaterials. Dieses Tool verfügt über eine Multi-Düsen-Plasmaquelle, die eine erweiterte Kontrolle über Ätzrate und Selektivität ermöglicht. Mit einem Drei-Elektroden-Asset kann das Modell Größe, Form und Tiefe von geätzten Mustern genau steuern. NE-950EX bietet mit seinen Prozessautomatisierungsgeräten eine hervorragende Prozessstabilität. Dieses System kann bis zu 15 verschiedene Rezepte speichern und kann mit einfachen Druckknopfoperationen angepasst werden. Diese Automatisierungseinheit ermöglicht auch eine effiziente Wartung durch Fernbedienung und Diagnose. Für zusätzliche Sicherheit und Schutz ist die Maschine auch mit einem automatischen, verzögerten Überdruckschutz und einem Notabschalter integriert. ULVAC NE-950EX ist ein hochentwickelter Ätzer/Ascher, der einen schnellen und präzisen Prozess mit überlegener Reproduzierbarkeit bietet. Mit seinem integrierten Automatisierungstool ist dieses Asset in der Lage, überlegene Ätzqualität mit einem hohen Grad an Reproduzierbarkeit und fortschrittlicher Kontrolle zu bieten. In Verbindung mit niedrigen Wartungskosten bietet dieses Modell eine hervorragende Rendite.