Gebraucht ULVAC NE-950EXk #9359650 zu verkaufen

ULVAC NE-950EXk ist ein Ätzer/Ascher für die Herstellung hochwertiger mikroelektronischer Komponenten. Dieses Gerät verwendet modernste Technologie, um konstant präzise und wiederholbare Ergebnisse mit minimaler Kontamination zu erzielen. Dieses System ist ein All-in-One-Ätzer mit integrierten Quell- und Kammerkomponenten, die beide modular aufgebaut und auf einfache Skalierbarkeit und Flexibilität ausgelegt sind. Das Quellmodul dieser Einheit besteht aus einer Gasverteilmaschine, die einen Gasschrank und eine Dusche, einen HF-Generator und eine Heißfadenanordnung umfasst. Gasschrank und Dusche sorgen für präzise und reproduzierbare Mengen an Prozessgasen in die Prozesskammer und ermöglichen eine präzise Kontrolle der Prozessabläufe. Der HF-Generator liefert die Leistung für FCCVD, F-CVD und Plating Ätzprozesse, die eine kontrollierte Dampfabscheidung oder ein präzise abgestimmtes Ätzen mehrerer Schichten ermöglichen, der RS-Generator sorgt für Wiederholbarkeit und Leistung. Das Hot Filament Assembly (HFE) Modul ist für schnelle thermische Prozesstechnologie konzipiert und bietet eine inerte Umgebung für thermische Oxidation, Glühen und andere Prozesse. Das Prozesskammermodul von NE-950EXk wurde entwickelt, um eine hervorragende Prozessgleichmäßigkeit, Wiederholbarkeit und Robustheit zu gewährleisten. Es ist eine integrierte nasse Bank Werkzeug mit einem Kühlwasser Abgas ausgestattet. Diese Kammer wurde entwickelt, um mit einer umfangreichen Palette von Prozessanwendungen zu arbeiten, einschließlich Ultrahochdichteätzen, Sputterätzen, Plasmaglühen und RIE-Ätzen/Ätzen. Die Kammer ist auch für Mehrzweckanwendungen wie Folienabscheidung, Filmreinigung und Sputtern ausgelegt. Die extrem hohe Präzision, Wiederholbarkeit und die hervorragende Leistung der Ätz- und Ascherprozesse machen ULVAC NE-950EXk zur idealen Prozesslösung für eine Vielzahl mikroelektronischer Komponenten und Produktionsprozesse. Neben dem äußerst zuverlässigen Modelldesign bietet ULVAC eine Reihe von Support-Services für NE-950EXk. Diese Dienstleistungen bieten umfassende Unterstützung bei der Inbetriebnahme, Installationsberatung, Beratung und Fehlerbehebung sowie Prozessentwicklung und -optimierung. Mit diesen Services bietet ULVAC NE-950EXk das höchste Leistungsniveau auf dem Halbleiter- und Mikroelektronikmarkt.