Gebraucht ULVAC NE-950EXk #9410744 zu verkaufen
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ID: 9410744
Dry etcher
Power supply: AX 3000 III Antenna and bias
Matching box:
AMVG-2000-GA Antenna
AMVG-1000-125M-FV Bias
ULVAC HR60 Dry pump
TMP: 2203LMTG(UI)
NUTEK MFC FCST1005LUC-4J2-F1000-N2
Gases:
Gas line / Flow
Ar / 100 SCCM
D2 / 100 SCCM
CF4 / 400 SCCM
SF6 / 200 SCCM
CL2 / 200 SCCM
BCL3 / 200 SCCM
BCL3 / 50 SCCM
N2 / Gas line purge
TPR280 Prirani gauge
IKR251 Cold cathode gauge
FSTC-CS003L-EC Chiller
65048-JHHC-AEX1 Vacuum throttle valve
649A21T21CAVR PFC Unit He cooling
HITACHI RS550 UPS power supply.
ULVAC NE-950EXk ist ein Ätzer/Asser mit einer Hochvakuumkammer zur Plasmabearbeitung in einem Bereich 200mm x 200mm. Es erzeugt einen Plasmaprozess von Wasserstoff oder Sauerstoff mit hoher Genauigkeit für präzises Ätzen/Ätzen oder Oberflächenaktivierung. NE-950EXk ist mit einer Stromerzeugungsquelle, einer Prozessgasmischquelle, einer Pumpquelle, einer Temperaturregelquelle und einer Temperaturüberwachungsquelle ausgestattet. ULVAC NE-950EXk ist auch mit einer Niedertemperatur-Vakuumpumpe ausgestattet, die es ideal für das Ätzen und die Oberflächenmodifizierung von organischen Substraten macht. Sein Plasmabearbeitungssystem bietet eine effektive Tiefe von ca. 10um, was eine präzise Steuerung der Dünnschichtoberfläche ermöglicht. NE-950EXk bietet auch eine breite Palette von Prozessparametern für das Ätzen und die Oberflächenbehandlung, wie die Zeit und der Strom für das Ätzen, die Temperatur für die Oberflächenaktivierung und die Gasdurchflussrate. Darüber hinaus können ULVAC- NE-950EXk manuell oder halbautomatisch betrieben werden. Der manuelle Modus ermöglicht die grundlegende Steuerung der Parameter, während der semiautomatisierte Modus die Einstellung individueller Prozessparameter und die automatische Kompensation unregelmäßig geformter Substrate ermöglicht. Der Treiber bietet auch Funktionen zur Datenspeicherung und Softwareupdates und bietet zudem eine einfache Bedienung bei der Durchführung von Ätz- und Oberflächenbehandlung. Weiterhin ist ein 1000-Punkte-Vektorgenerator vorgesehen, der den Aufbau des Ätzprozesses ermöglicht, während eine gleichzeitige Kühlung verwendet werden kann, um die bestmögliche Substratqualität zu gewährleisten. Die Hochvakuumkammer von NE-950EXk sorgt auch dafür, dass die Ätz-/Oberflächenbehandlungsprozesse in einer sauberen Umgebung durchgeführt werden. Insgesamt ist ULVAC NE-950EXk ein Ätzer/Asser, der eine präzise Ätz-/Oberflächenaktivierung auf mehreren Substraten mit einer Vielzahl von Prozessparametern ermöglicht. Es verfügt über eine Hochvakuumkammer für eine saubere Bearbeitungsumgebung und kann sowohl manuell als auch halbautomatisch betrieben werden. Darüber hinaus bieten Vektorgeneratoren zusätzliche Genauigkeit, während Kühlsysteme helfen, die besten Qualitätssubstrate beim Ätzen zu erhalten.
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