Gebraucht ULVAC NE-950EXz #293797486 zu verkaufen

ULVAC NE-950EXz ist eine hochmoderne Ätz-/Aschermaschine, die für die präzise und leistungsstarke Verarbeitung verschiedener Materialien im Halbleiter, MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) und anderen verwandten Industrien entwickelt wurde. Dieses System umfasst fortschrittliche Technologien und Funktionen, die eine effiziente und gleichmäßige Verarbeitung von Substraten mit überlegenen Ätz- und Ascheergebnissen ermöglichen. Eines der wichtigsten Highlights von NE-950EXz sind seine vielseitigen Verarbeitungsmöglichkeiten, die ein breites Spektrum an Anwendungen ermöglichen, darunter Photolackentfernung, Oberflächenreinigung, Ätzen von dielektrischen und metallischen Materialien und andere kritische Prozesse in der Halbleiterherstellung und -forschung. Diese Flexibilität wird durch eine Kombination aus innovativem Hardwaredesign, ausgeklügelten Prozesssteuerungsalgorithmen und benutzerfreundlichen Softwareschnittstellen erreicht, die eine einfache Anpassung von Prozessparametern für verschiedene Anwendungen ermöglichen. Das Gerät verfügt über eine zweifrequente, induktiv gekoppelte Plasmaquelle (ICP), die ein hochreaktives Plasma mit ausgezeichneter Ionendichte und Energieverteilung zur effizienten Materialabtragung und -ätzung erzeugt. Die ICP-Quelle wird durch eine nachgeschaltete Plasmaquelle zur zusätzlichen Kontrolle der Prozesschemie und der Plasmaeigenschaften ergänzt, die eine erhöhte Ätzselektivität, Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit ermöglicht. Darüber hinaus verfügt ULVAC NE-950EXz über eine robuste reaktive Ionenätzkammer (RIE) mit präziser Temperaturregelung und Gasflusssteuerung. Diese Kammer ist entworfen, um verschiedene Substratgrößen und Typen aufzunehmen, von Wafern zu einzelnen Proben, die Kompatibilität mit verschiedenen Prozessanforderungen zu gewährleisten. Die Maschine verfügt auch über erweiterte Endpunkterkennungsfunktionen, die eine Echtzeit-Überwachung des Ätzprozesses und eine genaue Bestimmung der Endpunktsignale für eine verbesserte Prozesssteuerung und Reproduzierbarkeit ermöglichen. Neben seinen Ätzfähigkeiten ist NE-950EXz auch in der Lage, Ascheprozesse zur Entfernung von organischen Verunreinigungen, Photoresists und anderen Rückständen von Substratoberflächen durchzuführen. Die Aschkammer des Werkzeugs ist mit speziellen Gasstromregelsystemen und Temperaturmanagementfunktionen ausgestattet, um optimale Aschebedingungen zu gewährleisten und Schäden an empfindlichen Materialien während des Prozesses zu minimieren. Darüber hinaus ist ULVAC NE-950EXz mit einem hohen Grad an Automatisierung und Zuverlässigkeit konzipiert, um eine effiziente, freihändige Bedienung zu ermöglichen und Ausfallzeiten zu minimieren. Das Asset umfasst erweiterte Diagnosetools, Remote-Überwachungsfunktionen und automatisierte Wartungsroutinen, mit denen die Modellleistung optimiert, die Lebensdauer der Komponenten verlängert und die Betriebskosten für Benutzer gesenkt werden können. Insgesamt stellt NE-950EXz eine hochmoderne Lösung für Ätz- und Ascheanwendungen in der fortschrittlichen Halbleiterherstellung, Forschung und Entwicklung dar. Die Kombination aus Hochleistungs-Plasmaquellen, vielseitigen Prozessfähigkeiten, präzisen Steuerungsfunktionen und fortschrittlichen Automatisierungsfunktionen machen es zu einem wertvollen Werkzeug, um überlegene Prozessergebnisse zu erzielen, die Produktivität zu steigern und die Entwicklung von Halbleiterbauelementen und -technologien der nächsten Generation voranzutreiben.