Gebraucht ULVAC NLD-800 #293610229 zu verkaufen

Hersteller
ULVAC
Modell
NLD-800
ID: 293610229
Weinlese: 2001
Dry etcher 2001 vintage.
ULVAC NLD-800 Asher/Etcher ist ein Hochleistungs-Ätz- und Aschegerät, ideal für die Bearbeitung von Wafern und unterschiedlichsten Substraten. Mit seinem hochpräzisen Ätz- und Ascheprozess und Funktionen, die die Go-to-Ätzeinheit für eine Mehrheit der Kunden ermöglichen, ist NLD-800 die perfekte Lösung für extrem enge Maßtoleranzen und hohe Produktionsraten. Der Ätzer/Ascher hat eine große Kammer und ist mit einem Hochfrequenzgenerator ausgestattet, um elektrische Energie effizient zu übertragen und den Ätz- und Ascheprozess genau zu steuern. ULVAC NLD-800 wurde entwickelt, um die Hochfrequenz- und Hochleistungsfähigkeit des HF-Generators zu nutzen, um einen homogenen, stark wiederholbaren und sehr kontrollierbaren Ätz- und Ascheprozess zu ermöglichen. Es verfügt über eine Reihe von Steuerparametern wie die Anzahl der Prozesse, Plattentemperatur, Frequenz, Leistung und chemische Konzentration, die programmiert werden können, um die besten Ergebnisse für jede Anwendung zu gewährleisten. NLD-800 ist darauf ausgelegt, Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 6,0 "ohne Änderungen komfortabel zu verarbeiten. Standardzubehör wie Klemmsysteme, bewegliche Körbe und Halter sowie eine Kuppeltragplattform für Isolierplatten wurden zur gleichmäßigen Bearbeitung von Substraten vorgesehen. Substrate können mit Hilfe eines Chargenladersystems einfach be- und entladen werden. ULVAC NLD-800 ist auch mit verschiedenen Sicherheitsmaßnahmen ausgestattet, wie einem Abdeckverriegelungsschalter und Plasmabestänionisatoren, die verhindern, dass die Kammer geöffnet wird, bevor ihr Innendruck normal ist. Auch mit einer geringen Masse Edelstahlabdeckung und einem optimierten Evakuierungssystem kann der Austrag von Prozesschemikalien deutlich reduziert werden. Das fortschrittliche Design des Ätzers/Aschers ermöglicht eine optimale Kompatibilität mit einer Reihe von Chemikalien, reduziert den Chemikalienverbrauch und minimiert seine Auswirkungen auf den Bediener und die Umwelt. Darüber hinaus ermöglichen fortschrittliche Diagnose- und vorbeugende Wartungsfunktionen dem Anwender, die Prozessbedingungen und Parameter des Systems zu überwachen, um einen homogenen und wiederholbaren Ätz- oder Ascheprozess zu gewährleisten. NLD-800 ist die ideale Wahl für hochpräzise Ätz- und Aschevorgänge in F&E, Auftragsfertigung oder Produktionsumgebungen. Mit seinem leichten Design, erweiterten Sicherheitsfunktionen und HF-Generator-Fähigkeiten bietet ULVAC NLD-800 ein hohes Maß an Kontrolle, Wiederholbarkeit und Funktionalität für eine breite Palette von Kunden.
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