Gebraucht ULVAC Phoenix #133356 zu verkaufen
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ID: 133356
Wafergröße: 6" - 8"
Etcher, 6"-8"
Single chamber
Downstream microwave
Low-damage RIE modes
Load locked
MESC compatible
Multi-step processing capabilities
Windows-based software
Offline recipe selection
SECS/GEM communication standards
Extensive data logging.
ULVAC Phoenix ist eine von ULVAC Technologies Inc. Es ist ein wesentliches Werkzeug für die Halbleiterindustrie, da es hilft, moderne integrierte Schaltungsdesigns zu produzieren. Das System nutzt thermische Oxidation und chemische Ätzprozesse, um kleinste Muster auf der Oberfläche eines Substratmaterials zu bilden. Dieser Prozess ist wesentlich für die Schaffung kleiner, komplizierter Muster bis in den Nanometerbereich. Es wird auch verwendet, um Dünnschichtschaltungen zu erzeugen, und ist eine der am weitesten verbreiteten Ätz-/Ascheausrüstung in der Elektronikindustrie. Phoenix verfügt über eine Ultra-Low-Vakuum (ULV) -Kammer, mit einer Drehquelle, die Gas oder Chemikalien in die Kammer einspeist. Auf einer 4-achsigen Robotereinheit werden Teile in die Kammer geladen. Der Roboter hat eine hohe Präzision, wiederholbare Genauigkeit und kann mehrere Teile verschiedener Formen und Größen aufnehmen. Die Maschine kann sowohl nass als auch trocken ätzen. Beim Naßätzen wird ein chemisches Gemisch in die Kammer eingespritzt, um gewünschte Muster auf der Oberfläche eines Substrats zu erzeugen. Trockenätzen verwendet ein Plasma, um ein selektives Ätzen durch einen Sputter- und/oder Ionenbeschuss zu erreichen, um Muster zu erzeugen. ULVAC Phoenix unterstützt das Laden von Einzelwafern und Waferkassetten. Es ermöglicht sowohl manuelles als auch automatisiertes Be- und Entladen und Transfer zur und aus der Kammer. Im Inneren der Kammer werden Teile mit einer Kombination aus Hochvakuumdruck, Reaktivgasen und Wärme geätzt oder adert. Durch eine schnelle Zykluszeit und hohe Drehgenauigkeit können auch unterschiedliche Arbeitsgänge innerhalb der Kammer schnell und effizient erledigt werden. Das Werkzeug bietet zudem eine hervorragende Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit. Dies gewährleistet eine gleichbleibende Produktqualität, was zu hervorragenden Erträgen und erhöhtem Produktionsdurchsatz führt. Darüber hinaus bietet Phoenix branchenführende Sicherheit und nutzt zahlreiche Oxidations- und Ätzprozesse, die auf minimale Nebenprodukte ausgelegt sind. Insgesamt ist ULVAC Phoenix ein ausgezeichnetes Ätz- und Aschegut, das sich ideal für die Produktion hochwertiger, komplizierter integrierter Submikron-Schaltungsdesigns eignet. Es verfügt über eine Reihe von Funktionen, die es zu einem leistungsstarken Werkzeug in jeder Produktionsumgebung machen.
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