Gebraucht ULVAC Phoenix #9164102 zu verkaufen

Hersteller
ULVAC
Modell
Phoenix
ID: 9164102
Weinlese: 1998
Etcher Enviro single chamber Multiple step RF Microwave plasma asher Includes: BROOKS AUTOMATION MTR-5 BROOKS AUTOMATION Board M/N 001-1951-02 revC3 BROOKS AUTOMATION M/N 001-8200-76 BROOKS AUTOMATION M/N 001-2300-47 ASTEX AX2050 2500 W Microwave power generator ASTEX AX3032 ASTEX AX3030 ASTEX F120047 ASTEX SA2050TBB ASTEX S402WG2 ASTEX AX3060 GE FANUC Series 90-30 CPU 341 ENI Automatch M/N MWH-5-01M3 JET Light power supply M/N DC24-8000-30 VAT Vacuum gate valve M/N 02010-BA24-1008 VAT Vacuum gate valve M/N 02010-BA24-1009 THK-SC6 MKS Vacuum isolation valve M/N LP2-40-AK-CLVS MKS BARATRON Pressure transducer M/N 122BA-00010AB Multiple AERA MFCs FC-7700CD NUPRO Valves Gateway computer & wonder ware Spare parts Multiple support manuals & documentation Power: 208 V, Cycles 60 Hz, 30 Phase, 60 A, 5 Wires, 1998 vintage.
ULVAC Phoenix ist eine von ULVAC, Inc. Es ist für hohe Geschwindigkeit und hohe Genauigkeit Ätzen und Aschen von verschiedenen Substraten ausgelegt. Das System verfügt über eine automatische Substrat-Handhabungseinheit, die ultrahohe Geschwindigkeit, einen Durchgang, Winkelsteuerung, über eine breite Palette von Materialien ermöglicht. Phoenix verwendet einen Ionenstrahl, um ein Substrat gleichmäßig zu ätzen, und es hat zwei Hauptkomponenten: die Ätz-/Aschequelle und die Steuereinheit. Die Quelle besteht aus einer Ionenquelle, einer mechanischen Bewegungsmaschine und einer Reihe von Linsen zur Fokussierung des Ionenstrahls. Die Steuereinheit stellt die Parameter zur Verfügung, die für die Steuerung des Ätz-, Asche- und Reinigungsprozesses erforderlich sind. Die Steuereinheit ist für eine Vielzahl von Parametereinstellungen ausgelegt, so dass der Benutzer die Parameter programmieren kann, um die gewünschten Ergebnisse für verschiedene Substrate zu erzielen. Programmierbare Parameter sind Gasfluss, Quellstrahlleistung, Ätz- und Aschewinkel sowie Materialschichtrate. Die einstellbaren Parameter bieten die Flexibilität für verschiedenste Materialien und Prozesse. Darüber hinaus wurde ULVAC Phoenix entwickelt, um internationalen Sicherheitsstandards zu entsprechen, einschließlich antistatischem Schutz, ergonomisch gestalteten Bedienfeldern und einem ausgeklügelten Sicherheitswerkzeug. Phoenix ist einer der leistungsfähigsten und zuverlässigsten Ätzer/Ascher zur Verfügung. Es verwendet Hochgeschwindigkeitsätzen und -veraschen, sensible Steuerungssysteme und erweiterte Sicherheitsfunktionen, um dem Benutzer eine effiziente und effektive Lösung zum Ätzen und Aschen von Substraten zu bieten. Darüber hinaus ermöglichen die flexiblen Programmierfunktionen eine breite Palette von Anwendungen und Prozessen, so dass Anwender eine optimale Leistung für ihre Ätz-/Veraschungsanforderungen erzielen können.
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