Gebraucht ULVAC TDE 300M Custom #9186778 zu verkaufen

ULVAC TDE 300M Custom
ID: 9186778
Weinlese: 2007
3D Plasma etcher Substrate load station and carrier: Wafer substrate cassette (9) Tubular substrates (Φ1.25mm x 8.5") Parallel fixed spacing: 0.5”-1” Helium gas cooling RF Connection Load-lock isolation chamber: Based on BROOKS VCE-2 (For wafer substrate cassette) Load-lock transfer chamber: Based on BROOKS VTS-4 (Vacuum transfer system) Isolation valve (VAT Series) MESC-compatible rectangular valve Substrate transfer robot (4.5 3-Axis Electro Mechanical Solutions) Control box for RF plasma: Power distribution components: Circuit breakers, relays and PLC modules RF Power supply: RF Antenna power supply: 40MHz, 1 kW Vacuum pumping system: ULVAC LR-90 Load-lock chamber dry pump: Dry vacuum pump Transfer chamber dry pump Process chamber pump Turbo molecular pump Computer control system: Operator interface PC Based user interface Programmable logic controller GE Series Real time control system based on PLC Software: PLC System control software Windows based NT or higher OS DDE Server Process gas inlet system: Internal framed gas box Mass flow controlled gas inlet (4) Process gas lines 316L Stainless steel plumbing, EP, welded with VCR fittings In-line filters With additional process chamber POU filtration Compressed air system: Valve actuation and door seating Cooling system (chiller): Tubular substrate helium gas Dry air cooling system Process chamber: Chamber size: ~59 liters Dual plates Capacity: Coupled plasma Applications: 3-D Tubular substrate dry etching Currently crated and warehoused 2007 vintage.
ULVAC TDE 300M Custom ist ein Ätzer/Ascher, der für die präzise Materialbearbeitung in einer Vielzahl von industriellen Anwendungen konzipiert ist. Diese Ausrüstung ist in der Lage, Ätzen, Backen und Sintern auf einer Reihe von Materialien durchzuführen, und es ist für Chargenoperationen und kundenspezifische Prozessprogramme konzipiert. TDE 300M Custom System besteht aus den Kernätz- und Backkammern, Kammerübertragungs-Subsystemen und einer zentralen Steuereinheit. Es hat eine dreistufige Kammerausführung mit einem gesamten Kammervolumen von 300L und eignet sich für Kammerätz- und Backoperationen. Die Ätzkammer hat eine maximale Temperatur von 1500 - 1700℃, und die Kammerkomponente kann bis zu 1600℃in Betrieb erreichen. Die Backkammer hat eine Kapazitätstemperatur von 250 - 500℃ und eine Maximaltemperatur von 500℃ zum Backen. ULVAC TDE 300M Custom Maschine bietet eine Reihe von Funktionen zur Unterstützung von Präzisionsmaterialätzen und Backoperationen. Es verfügt über ein Kontrollwerkzeug mit einem Zehn-Zoll-LCD-Bildschirm, das eine grafische Benutzeroberflächensteuerung aller Asset-Funktionen sowie Tabellen- und Graphenansichten historischer Prozessdaten zur einfachen Analyse bietet. Es ist auch mit einem mikroprozessorbasierten Mikrocontroller mit einem digitalen Signalprozessor (DSP) für schnelles und präzises Temperaturmanagement integriert. Das Modell verfügt auch über integrierte Sicherheitsfunktionen wie Übertemperaturschutz, Überstromabschaltung und einen automatischen Sicherheitszeitgeber, um die Sicherheit während des Betriebs zu gewährleisten. TDE 300M Custom ist mit einer Vielzahl von Zubehör ausgestattet, um die Leistung der Ausrüstung zu verbessern. Dazu gehören Wasserkühlschleifen, Temperatursensoren, ein Probenthermoelement, Druckaufnehmer, eine Vakuumdruckplatte, programmierbare digitale Zeitgeber, eine Vakuumkammer, eine Filteranordnung, eine Turbo-Molekularpumpe und eine Ionenquelle. ULVAC TDE 300M Custom ist ein leistungsstarkes Ätz- und Backsystem, das optimale Leistung und Präzision für eine Vielzahl von industriellen Anwendungen bietet. Es wurde entwickelt, um die spezifischen Anforderungen der Hersteller zu erfüllen, und seine fortschrittlichen Funktionen und Zubehör bieten zuverlässige und zuverlässige Leistung auch unter den anspruchsvollsten Bedingungen.
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