Gebraucht ULVAC Ulvac W200T #184763 zu verkaufen

ULVAC Ulvac W200T ist ein Trockenfilmätzer für eine Vielzahl von präzisen Ätzanwendungen. Die Vorrichtung besteht aus einer Prozesskammer, Substratstufe, Gassteuereinrichtung, Vakuumsystem, Stromversorgungssteuereinheit, Abgasmaschine und Bedienfeld. Die Prozesskammer ist horizontal mit Fenstern zur Beobachtung des Ätzvorgangs ausgebildet, wodurch eine genaue Kontrolle der Ätzparameter möglich ist. Die Quarzkammer ist mit Flanschen zur präzisen Ausrichtung und Beladung von bearbeiteten Substraten ausgestattet. Die Substratstufe ist eine horizontale X-Y-R lineare Stufe mit präziser Anschlag- und Wiederholgenauigkeit für schnelle Beladung und präzise Ausrichtung der Substratpositionierung. Die Stufe enthält ferner ein Trägheitsoptisches Ausrichtwerkzeug und einen rotierenden Substrataufsatz zur Bearbeitung von kreisförmigen Substraten. Die Gassteuerung ist ein vollautomatisiertes Modell mit einem digitalen Auslesen zur genauen Gassteuerung von Ätzprozessen. Die Gassteuerung besteht aus zwei Gasleitungen, eine für Ätzgas und die andere für die Verarbeitung von Hilfsgas, beide gleichförmig gesteuert. Die Vakuumeinrichtung besteht aus einer turbomolekularen Hochvakuumpumpe und einer Schnelllösemechanikpumpe. Die Turbopumpe ermöglicht es den Prozesskammern, Drücke von 10-6 bis 10-8 Torr zu erreichen, während die mechanische Pumpe für Drücke von 200 bis 500 mTorr ausgelegt ist. Die Stromversorgungssteuerung ist einstellbar und liefert die genaue Leistung und Steuerung, die zum Ätzen einer Vielzahl von Schaltungen erforderlich ist. Die Abgasanlage ist ein HF-gefilterter UKW, der maximale Ätzraten und minimale Diffusion gewährleistet. Das Bedienfeld bietet eine eingebaute Computermaschine und ergonomisch platzierte Bedienungsknöpfe für eine einfache und präzise Steuerung des Ätzprozesses. Das Werkzeug ist auch mit einem bordeigenen Kühlwasservorrat ausgestattet, um die Ätzraten zu verbessern und auch Temperatur und Ätzatmosphäre unter Kontrolle zu halten. Ulvac W200T ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien von SiO2, SiNx, SiOC, Polyimid und COC zu Metallen, Diamanten wie Kohlenstoff (DLC) und Kohlenstoff-Nanoröhren genau zu ätzen und abzuscheiden. Der Ätzer ist ideal für eine Vielzahl von Anwendungen, einschließlich, aber nicht beschränkt auf mikroelektronische Materialien, Geräte und Schaltungen.