Gebraucht ULVAC UNA 2000 #163814 zu verkaufen

ULVAC UNA 2000 ist ein Ätzer und Ascher, der für eine hervorragende Prozessleistung in einer Vielzahl von Fertigungsprozessen entwickelt wurde. Dieses Gerät eignet sich hervorragend für die präzise mikroelektronische Geräteherstellung und bietet eine robuste Prozesssteuerung für reaktive und nicht-reaktive Gasätz- und Ascheprozesse. Die UNA 2000 nutzt eine Lastschloßkammer für den Entladevorgang mit Heiz-/Kühlplatte, Fotomaskenplatte und Substratplatte. Es enthält einen 6-Zoll bis 8-Zoll-Single-Wafer-Cluster-End-Effektor und eine Scan-HF-Suszeptor-Platte mit Quarzglockendüse für Prozessflexibilität. Ein umfangreiches Spektrum an Prozesssteuerungsmechanismen umfasst einen ASTAR II adressierbaren Gaskrümmer für bis zu 64 Gasquellen mit automatischer Gasumschaltbarkeit und Massenstromregler zur Einstellung von Gasdurchflussraten. Das System enthält auch eine Vakuumpumpe, Graphithülsen und Schilde, heiße Leitungsfalle, kryogene Pumpe, Gaspanel und Prozesssteuerungssoftware. ULVAC UNA 2000 kommt auch mit einem zusätzlichen Elektro-Strahl-Steuergerät und Controller, die es Anwendern ermöglichen, hohe Energie Implosion von Zielsubstraten zu programmieren. Ein schrittweises Diagnosemenü sorgt für einen sicheren und zuverlässigen Betrieb der Maschine. UNA 2000 ist mit einem einzelnen Wafer-Modus und einem Batch-Prozessmodus ausgelegt, so dass der Benutzer zwischen einzelnen Substraten oder Batch-Substraten wechseln kann. Diese Funktion vereinfacht das Be- und Entladen von Substraten. Das Werkzeug kommt auch mit einer hochpräzisen Gaseinspritzung und HF-Substrat-Heizung für effektives und gleichmäßiges Ätzen/Aschen von Zielen. ULVAC UNA 2000 ist in der Lage, bis zu 2000 Substrate pro Stunde zu verarbeiten und bietet einen optionalen Cluster-Controller mit Touchpanel-Monitor zur einfachen Steuerung der Waferbewegung und des Status. Es enthält einen Monitor zur Anzeige des Prozessgasdrucks, des Gasflusses und des Zeitpunkts für die Prozesssteuerung. Das Modell ist in der Lage, Prozessrezepte durch Standard-Rezeptsprache (SRL) für schnelle Prozess-Setup und Software-Downloads zur Verfügung zu stellen. UNA 2000 ist ein effizienter und zuverlässiger Ätzer und Ascher, der eine hervorragende Leistung bei der Herstellung mikroelektronischer Geräte bietet. Das Gerät bietet eine robuste Prozesssteuerung, ein umfassendes Spektrum an Prozesssteuerungsmechanismen, hochpräzise Gaseinspritzung und HF-Substratheizung und bietet gleichzeitig einen einzigen Wafer- und Chargenprozessbetrieb. Dieses Gerät bietet Anwendern eine schnelle, sichere und robuste Lösung für anspruchsvolle Fertigungsprozesse.