Gebraucht ULVAC UNA-2000 #9055148 zu verkaufen

ULVAC UNA-2000
Hersteller
ULVAC
Modell
UNA-2000
ID: 9055148
Weinlese: 1992
Ashing system Cassette to cassette Loadlock Power supply: Microwave 600 - 1000W, 2450MHz +/- 50MHz High frequency: 200W, 13.56MHz 1992 vintage.
ULVAC UNA-2000 ist ein hocheffizienter Plasmaätzer zum Abscheiden und Ätzen dünner Filme. Die Maschine ist mit einer Reihe von Funktionen ausgestattet, die eine hohe Auflösung und Genauigkeit mit einer Vielzahl von Materialien bieten, darunter Metalle, Polymere und Keramik. UNA-2000 verfügt über zwei unabhängige Prozesskammern, eine hochpräzise motorisierte Wafer-Positionierausrüstung und eine einstellbare Tragstruktur, die eine einfache Variation der Substratgröße ermöglicht. ULVAC UNA-2000 nutzt eine Vakuumkammer mit einem Inertgasgemisch, um Dünnschichtmaterialien gleichmäßig und präzise abzuscheiden und zu ätzen. Die Hochvakuumumgebung hilft, eine saubere, sauerstofffreie Atmosphäre zu erhalten, wodurch das Plasma geätzt werden kann, ohne Probenmaterial zu zerstören. Die beiden getrennten Prozesskammern ermöglichen auch die gleichzeitige Bearbeitung zweier unterschiedlicher Substrate. Das Wafer-Positioniersystem der Maschine ist mit einer hochpräzisen Motoreinheit ausgestattet, die eine präzise Strahllenkung und präzise Wafer-Positionierung ermöglicht. Es enthält auch eine Reihe von Bewegungsoptionen, mit denen der Benutzer den Ätzprozess anpassen kann. Die einstellbare Trägerstruktur kann verwendet werden, um die Größe des Substrats leicht anzupassen, wodurch es mit einer Vielzahl von Substratgrößen kompatibel ist. UNA-2000 verwendet Quellplasma, um Material von der Substratoberfläche zu entfernen, und es ist für die Verwendung in Verbindung mit einer Speisegasleitung ausgelegt, die einen konsistenten Gasfluss ermöglicht. Der einstellbare Speisegasdruck kann zur präzisen Steuerung des Ätzprozesses verwendet werden, und die hochreine Argongaszufuhr trägt dazu bei, einen gleichmäßigen Gasfluss zu gewährleisten. ULVAC UNA-2000 ist ein sehr zuverlässiger und präziser Plasmaätzer und liefert ausgezeichnete Ätzergebnisse mit einer Vielzahl von Materialien. Das Gerät eignet sich auch für chargen- und chargenlose Operationen und ist somit eine ideale Wahl für jede Ätzanwendung. Die Maschine wurde entwickelt, um die höchsten Ätzqualitätsspezifikationen zu erfüllen, und die eingebaute hochauflösende Plasmamessmaschine sorgt für Genauigkeit und Wiederholbarkeit.
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