Gebraucht ULVAC UNA-2000N #9055149 zu verkaufen

ULVAC UNA-2000N
Hersteller
ULVAC
Modell
UNA-2000N
ID: 9055149
Ashing system Cassette to cassette Loadlock Power supply: Microwave 600 - 1000W, 2450MHz +/- 50MHz High frequency: 200W, 13.56MHz 1992 vintage.
ULVAC UNA-2000N ist ein präziser Trockenätzer/Ascher, der für eine Vielzahl von industriellen Anwendungen entwickelt wurde. Diese Maschine ist mit einer hochpräzisen Fokussierlinse und einer Hochgeschwindigkeits-mehrstufigen Dünnschichtmaskenstufe ausgestattet. Es ist in der Lage, einschichtige Folien mit einer Dicke von bis zu 2 µm sowie mehrschichtige Folien mit einer Dicke von bis zu 10 µm zu ätzen. Die breite Palette an Betriebsparametern ermöglicht präzise, wiederholbare und kostengünstige Ätzprozesse. UNA-2000N ist mit einer 2000-Watt HF-Stromquelle ausgestattet, die es ermöglicht, hohe Ätzraten und ausgezeichnete Präzision im Ätzprozess zu erzeugen. Es ist auch mit einer häufig einstellbaren Rastergröße ausgestattet, so dass die Maschine für verschiedene Größen des Ätzauftrags eingerichtet werden kann. Darüber hinaus tragen die Niedertemperatur-Plasmakammer und der Niederdruckbetrieb zur Minimierung der Partikelerzeugung und der Filmkontamination bei. ULVAC UNA-2000N hat eine obere Grenztemperatur von 600 Grad Celsius und eignet sich daher für wärmeempfindliche Materialien wie Glas, Keramik, Cermet, Kohlenstoff und Polymere. Seine Photoresist- und In-situ-Reinigungsfunktionen sind ideal für die kompliziertesten Ätzprozesse. Darüber hinaus ermöglicht das eingebaute Gassystem eine Vielzahl von Gasen, wodurch die Ätzflexibilität erhöht wird. UNA-2000N ist mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen für zuverlässige Leistung und langfristige Haltbarkeit ausgestattet. Sein dynamisches Temperaturregelsystem sorgt für eine gleichmäßige Wärmeverteilung bei gleichbleibender Temperatur, während der Kammerschutzverschluss ein Eindringen von Verunreinigungen in die Kammer verhindert. Darüber hinaus bietet der integrierte Monitor eine genaue Überwachung von Prozessdaten und Systemalarmen, um unerwartete Ereignisse während des Ätzvorgangs zu vermeiden. Dieser Präzisionsätzer/Ascher eignet sich für eine Vielzahl von industriellen Anwendungen, zu denen die Verarbeitung von Halbleiterbauelementen, die Verpackung auf Waferebene und das Ätzen von Mikrokomponenten gehören. Seine erweiterten Funktionen, gepaart mit seiner außergewöhnlichen Leistung, machen es zu einer idealen Wahl für Reinraumumgebungen. ULVAC UNA-2000N ist die perfekte Wahl für präzises Ätzen und Aschen in verschiedenen industriellen Umgebungen.
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