Gebraucht ULVAC UNA-2200 #293585866 zu verkaufen

ULVAC UNA-2200 Ätzer/Ascher ist ein multifunktionales Gerät für Substratätzen und Aschen in einem einzigen Prozess. Es ist eines der fortschrittlichsten Plasmabearbeitungsgeräte von ULVAC (Ultra Low Vacuum) und bietet außergewöhnliche Qualität und Leistung beim Ätzen und Aschen verschiedener Substrate. Das Zweikammersystem ermöglicht ein separates Ätzen und Aschen, so dass der Benutzer hohe Ätzraten bei minimaler Beschädigung des Substrats erreichen kann. UNA-2200 ist in der Lage, eine breite Palette von Ätzgasen zu betreiben, einschließlich einer Vielzahl von Argon und Krypton Gasgemischen, die je nach der jeweiligen Ätzanwendung angepasst werden können. Die integrierten Prozessüberwachungssysteme von ULVAC UNA-2200 ermöglichen die Steuerung von Druck-, Leistungs-, Zeit- und Datumsinformationen innerhalb der Kammer, wodurch der Benutzer sowohl Ätz- als auch Ascheparameter exakt anpassen kann, um die höchsten Leistungsstufen zu erzielen. UNA-2200 ist mit einem Auto-Matching-Generator ausgestattet, der sowohl gepulste als auch kontinuierliche (CW) Plasmalösungen bietet. Im gepulsten Modus ist diese Funktion in der Lage, konstant hohe Ätz-/Ascheraten mit geringen Substratschäden bereitzustellen. ULVAC UNA-2200 verfügt auch über ein erweitertes HF-Impedanzanpassungssystem, mit dem das Gerät höhere Durchsätze und eine bessere Gleichmäßigkeit erzielen kann. Die Kammer selbst besteht aus robustem Edelstahl und kann Temperaturen bis 400 ° C standhalten. Darüber hinaus ist UNA-2200 mit einer flachen Balgkammerdichtung ausgestattet, die höchste Vakuumintegrität und Eindämmung gewährleistet. Die Ätz-/Ascheparameter können während der Laufzeit in Sekundenschnelle verändert und eingestellt werden, und der Prozessor stellt die Plasmaparameter sofort entsprechend ein. ULVAC UNA-2200 ist vielseitig und einfach zu bedienen und bietet eine breite Palette von Ätz-/Aschelösungen für die Kundenanforderungen. Mit seiner fortschrittlichen Plasmaerzeugung, dem RF-Matching und dem Kammerdesign bietet UNA-2200 eine fantastische Ätz-/Ascheleistung, was es zu einer hochzuverlässigen und effektiven Substratverarbeitungsausrüstung macht.